ધ એડવાન્સ્ડSiC કેન્ટીલીવર પેડલવેફર પ્રોસેસિંગ માટે વેટર-ચાઇના દ્વારા બનાવેલ સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન માટે ઉત્તમ ઉકેલ પૂરો પાડે છે. આ કેન્ટીલીવર પેડલ SiC (સિલિકોન કાર્બાઈડ) સામગ્રીથી બનેલું છે, અને તેની ઉચ્ચ કઠિનતા અને ગરમી પ્રતિકાર તેને ઉચ્ચ તાપમાન અને કાટ લાગતા વાતાવરણમાં ઉત્તમ કામગીરી જાળવવા સક્ષમ બનાવે છે. કેન્ટીલીવર પેડલની ડિઝાઇન પ્રક્રિયા દરમિયાન વેફરને વિશ્વસનીય રીતે ટેકો આપવા દે છે, જે ફ્રેગમેન્ટેશન અને નુકસાનનું જોખમ ઘટાડે છે.
SiC કેન્ટીલીવર પેડલઓક્સિડેશન ફર્નેસ, ડિફ્યુઝન ફર્નેસ અને એનિલિંગ ફર્નેસ જેવા સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન સાધનોમાં વપરાતો વિશિષ્ટ ઘટક છે, મુખ્ય ઉપયોગ વેફર લોડિંગ અને અનલોડિંગ, ઉચ્ચ-તાપમાન પ્રક્રિયાઓ દરમિયાન વેફરને સપોર્ટ અને પરિવહન માટે છે.
સામાન્ય રચનાઓનાSiCcએન્ટિલિવરpએડલ: કેન્ટીલીવર માળખું, એક છેડે નિશ્ચિત અને બીજા ભાગમાં મુક્ત, સામાન્ય રીતે સપાટ અને ચપ્પુ જેવી ડિઝાઇન ધરાવે છે.
VET એનર્જી ગુણવત્તાની બાંયધરી આપવા માટે ઉચ્ચ શુદ્ધતા પુનઃપ્રક્રિયાકૃત સિલિકોન કાર્બાઇડ સામગ્રીનો ઉપયોગ કરે છે.
| પુનઃસ્થાપિત સિલિકોન કાર્બાઇડના ભૌતિક ગુણધર્મો | |
| મિલકત | લાક્ષણિક મૂલ્ય |
| કાર્યકારી તાપમાન (°C) | 1600°C (ઓક્સિજન સાથે), 1700°C (વાતાવરણ ઘટાડવું) |
| SiC સામગ્રી | > 99.96% |
| મફત Si સામગ્રી | < 0.1% |
| બલ્ક ઘનતા | 2.60-2.70 ગ્રામ/સે.મી3 |
| દેખીતી છિદ્રાળુતા | < 16% |
| કમ્પ્રેશન તાકાત | > 600MPa |
| કોલ્ડ બેન્ડિંગ તાકાત | 80-90 MPa (20°C) |
| ગરમ બેન્ડિંગ તાકાત | 90-100 MPa (1400°C) |
| થર્મલ વિસ્તરણ @1500°C | 4.70 10-6/°સે |
| થર્મલ વાહકતા @1200°C | 23W/m•K |
| સ્થિતિસ્થાપક મોડ્યુલસ | 240 GPa |
| થર્મલ આંચકો પ્રતિકાર | અત્યંત સારું |
વેફર પ્રોસેસિંગ માટે VET એનર્જીના એડવાન્સ્ડ SiC કેન્ટીલીવર પેડલના ફાયદા છે:
-ઉચ્ચ તાપમાન સ્થિરતા: 1600°C થી ઉપરના વાતાવરણમાં વાપરી શકાય તેવું;
-લો થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક: પરિમાણીય સ્થિરતા જાળવે છે, વેફર વોરપેજ જોખમ ઘટાડે છે;
-ઉચ્ચ શુદ્ધતા: ધાતુના દૂષણનું ઓછું જોખમ;
-રાસાયણિક જડતા: કાટ-પ્રતિરોધક, વિવિધ ગેસ વાતાવરણ માટે યોગ્ય;
-ઉચ્ચ તાકાત અને કઠિનતા: વસ્ત્રો-પ્રતિરોધક, લાંબી સેવા જીવન;
-સારી થર્મલ વાહકતા: એકસમાન વેફર ગરમ કરવામાં મદદ કરે છે.
