PECVD ગ્રેફાઇટ બોટ કેવી રીતે સાફ કરવી?| VET એનર્જી

1. સફાઈ પહેલાં સ્વીકૃતિ

1) જ્યારે ધPECVD ગ્રેફાઇટ બોટ/વાહકનો ઉપયોગ 100 થી 150 થી વધુ વખત થાય છે, ઓપરેટરે સમયસર કોટિંગની સ્થિતિ તપાસવાની જરૂર છે. જો ત્યાં અસામાન્ય કોટિંગ હોય, તો તેને સાફ અને પુષ્ટિ કરવાની જરૂર છે. ગ્રેફાઇટ બોટ/કેરિયરમાં સિલિકોન વેફરનો સામાન્ય કોટિંગ રંગ વાદળી છે. જો વેફરમાં વાદળી ન હોય, બહુવિધ રંગો હોય અથવા વેફર વચ્ચેનો રંગ તફાવત મોટો હોય, તો તે અસામાન્ય કોટિંગ છે, અને અસાધારણતાના કારણની સમયસર પુષ્ટિ કરવી જરૂરી છે.
2) પ્રક્રિયા પછી કર્મચારીઓ કોટિંગની સ્થિતિનું વિશ્લેષણ કરે છેPECVD ગ્રેફાઇટ બોટ/વાહક, તેઓ નક્કી કરશે કે શું ગ્રેફાઇટ બોટને સાફ કરવાની જરૂર છે અને કાર્ડ પોઈન્ટ બદલવાની જરૂર છે કે કેમ, અને ગ્રેફાઈટ બોટ/કેરિયર કે જેને સાફ કરવાની જરૂર છે તે સફાઈ માટે સાધનો કર્મચારીઓને સોંપવામાં આવશે.

 

3) પછીગ્રેફાઇટ બોટ/વાહકને નુકસાન થયું છે, ઉત્પાદન કર્મચારીઓ ગ્રેફાઇટ બોટમાંના તમામ સિલિકોન વેફર્સને બહાર કાઢશે અને સીડીએ (સંકુચિત હવા) નો ઉપયોગ કરશે.ગ્રેફાઇટ બોટ. પૂર્ણ થયા પછી, સાધનસામગ્રીના કર્મચારીઓ તેને એસિડ ટાંકીમાં ઉપાડશે જે સફાઈ માટે HF સોલ્યુશનના ચોક્કસ પ્રમાણ સાથે તૈયાર કરવામાં આવી છે.

 

2. ગ્રેફાઇટ બોટની સફાઈ

સફાઈના ત્રણ રાઉન્ડ માટે 15-25% હાઇડ્રોફ્લોરિક એસિડ સોલ્યુશનનો ઉપયોગ કરવાની ભલામણ કરવામાં આવે છે, દરેક 4-5 કલાક માટે, અને પલાળવાની અને સફાઈની પ્રક્રિયા દરમિયાન સમયાંતરે નાઈટ્રોજનનો બબલિંગ કરો, લગભગ અડધો કલાક સફાઈ ઉમેરો; નોંધ: બબલિંગ માટે ગેસના સ્ત્રોત તરીકે હવાનો સીધો ઉપયોગ કરવાની ભલામણ કરવામાં આવતી નથી. અથાણાં પછી, લગભગ 10 કલાક સુધી શુદ્ધ પાણીથી કોગળા કરો, અને ખાતરી કરો કે બોટ સંપૂર્ણપણે સાફ થઈ ગઈ છે. સફાઈ કર્યા પછી, કૃપા કરીને બોટની સપાટી, ગ્રેફાઈટ કાર્ડ પોઈન્ટ અને બોટ શીટ જોઈન્ટ અને અન્ય ભાગો તપાસો કે ત્યાં કોઈ સિલિકોન નાઈટ્રાઈડ અવશેષો છે કે કેમ. પછી જરૂરિયાતો અનુસાર સૂકવી.

3. સફાઈ સાવચેતીઓ

A) HF એસિડ અત્યંત કાટ લાગતો પદાર્થ હોવાથી અને તેમાં ચોક્કસ અસ્થિરતા હોય છે, તે ઓપરેટરો માટે જોખમી છે. તેથી, સફાઈ પોસ્ટ પરના સંચાલકોએ સલામતીની સાવચેતી રાખવી જોઈએ અને સમર્પિત વ્યક્તિ દ્વારા તેનું સંચાલન કરવું જોઈએ.

બી) બોટને ડિસએસેમ્બલ કરવાની ભલામણ કરવામાં આવે છે અને સફાઈ દરમિયાન માત્ર ગ્રેફાઈટના ભાગને સાફ કરો, જેથી દરેક સંપર્કના ભાગને વધુ સારી રીતે સાફ કરી શકાય. હાલમાં, ઘણા સ્થાનિક ઉત્પાદકો એકંદર સફાઈનો ઉપયોગ કરે છે, જે અનુકૂળ છે, પરંતુ કારણ કે HF એસિડ સિરામિક ભાગોને કાટ લગાડે છે, એકંદર સફાઈ અનુરૂપ ભાગોની સેવા જીવનને ટૂંકી કરશે.