Revestimento de SiC/Sustrato de grafito revestido/Bandexa para semicondutores

Revestimento de SiC/Sustrato de grafito revestido/Bandexa para Imaxe destacada de semicondutores

Breve descrición:

O susceptor de grafito revestido de VET Energy SiC para o crecemento epitaxial é un produto de alto rendemento deseñado para proporcionar un rendemento consistente e fiable durante un período prolongado. Ten unha excelente resistencia á calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistencia á erosión, polo que é a solución perfecta para aplicacións de procesamento de obleas.

Envíanos un correo electrónico Descarga como PDF

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Revestimento de SiC/revestimento de susceptor de grafito para semiconductores

OSubstrato de grafito revestido de SiCé unha solución altamente duradeira e eficiente deseñada para satisfacer as rigorosas demandas da industria de procesamento de semicondutores. Presenta unha capa de alta purezarevestimento de carburo de silicio (SiC)., este substrato ofrece unha estabilidade térmica excepcional, resistencia á oxidación e unha vida útil prolongada, polo que é ideal para aplicacións en procesos MOCVD, soportes de obleas de grafito e outros ambientes de alta temperatura.

Características:
· Excelente resistencia ao choque térmico
· Excelente resistencia a choques físicos
· Excelente resistencia química
· Pureza súper alta
· Dispoñibilidade en Forma complexa
·Utilable en atmosfera comburente

Aplicación:

Características e vantaxes do produto:

1. Resistencia térmica superior:Cunha pureza elevadaRevestimento de SiC, o substrato soporta temperaturas extremas, garantindo un rendemento consistente en ambientes esixentes como a fabricación de epitaxia e de semicondutores.

2. Durabilidade mellorada:Os compoñentes de grafito revestidos de SiC están deseñados para resistir a corrosión química e a oxidación, aumentando a vida útil do substrato en comparación cos substratos de grafito estándar.

3. Grafito revestido de vítreo:A estrutura vítrea única doRevestimento de SiCproporciona unha excelente dureza superficial, minimizando o desgaste durante o procesamento a alta temperatura.

4. Revestimento SiC de alta pureza:O noso substrato garante unha contaminación mínima en procesos de semicondutores sensibles, ofrecendo fiabilidade para as industrias que requiren unha pureza rigorosa do material.

5. Aplicación de mercado amplo:OSusceptor de grafito revestido de SiCO mercado segue crecendo a medida que aumenta a demanda de produtos avanzados con revestimento de SiC na fabricación de semicondutores, posicionando este substrato como un actor clave tanto no mercado de soportes de obleas de grafito como no mercado de bandexas de grafito revestidos de carburo de silicio.

Propiedades típicas do material de grafito base:

Densidade aparente:	1,85 g/cm3
Resistividad eléctrica:	11 μΩm
Resistencia á flexión:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Dureza Shore:	58
Cinza:	<5 ppm
Condutividade térmica:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas do CVD SiCrevestimento
性质 / Propiedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura cristalina	FCC fase β 多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 维氏硬度（500g de carga）
晶粒大小 / Grain Size	2 ~ 10 μm
纯度 / Pureza química	99,99995 %
热容 / Capacidade calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimación	2700 ℃
抗弯强度 / Resistencia á flexión	415 MPa RT de 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	430 Gpa curva de 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / Condutividade térmica	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy é o fabricante real de produtos personalizados de grafito e carburo de silicio con diferentes revestimentos como revestimento SiC, revestimento TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc., pode fornecer varias pezas personalizadas para a industria de semicondutores e fotovoltaica.

O noso equipo técnico provén das principais institucións de investigación nacionais, pode proporcionarlle solucións materiais máis profesionais.

Desenvolvemos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiais máis avanzados e elaboramos unha tecnoloxía patentada exclusiva, que pode facer que a unión entre o revestimento e o substrato sexa máis estreita e menos propensa a desprenderse.

Benvido a visitar a nosa fábrica, imos ter máis discusións!