Revestimento de SiC/Sustrato de grafito revestido/Bandexa para semicondutores

Revestimento de SiC/Sustrato de grafito revestido/Bandexa para Imaxe destacada de semicondutores

Descrición curta:

O susceptor de grafito revestido de VET Energy SiC para o crecemento epitaxial é un produto de alto rendemento deseñado para proporcionar un rendemento consistente e fiable durante un período prolongado.Ten unha excelente resistencia á calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistencia á erosión, polo que é a solución perfecta para aplicacións de procesamento de obleas.

Envíanos un correo electrónico Descarga como PDF

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Revestimento de SiC/revestimento de susceptor de grafito para semiconductores

O susceptor de grafito revestido de SiC é un compoñente clave usado en varios procesos de fabricación de semicondutores.Usamos a nosa tecnoloxía patentada para facer o soporte de carburo de silicio cunha pureza extremadamente alta, unha boa uniformidade de revestimento e unha excelente vida útil, así como unha alta resistencia química e propiedades de estabilidade térmica.

Características:
· Excelente resistencia ao choque térmico
· Excelente resistencia a choques físicos
· Excelente resistencia química
· Pureza súper alta
· Dispoñibilidade en Forma complexa
·Utilable en atmosfera comburente

Aplicación:

Propiedades típicas do material de grafito base:

Densidade aparente:	1,85 g/cm3
Resistividad eléctrica:	11 μΩm
Resistencia á flexión:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Dureza Shore:	58
Cinza:	<5 ppm
Condutividade térmica:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas do CVD SiCrevestimento
性质 / Propiedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura cristalina	FCC fase β 多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 维氏硬度（500g de carga）
晶粒大小 / Grain Size	2 ~ 10 μm
纯度 / Pureza química	99,99995 %
热容 / Capacidade calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimación	2700 ℃
抗弯强度 / Resistencia á flexión	415 MPa RT de 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	430 Gpa curva de 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / Condutividade térmica	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy é o fabricante real de produtos personalizados de grafito e carburo de silicio con diferentes revestimentos como revestimento SiC, revestimento TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc., pode fornecer varias pezas personalizadas para a industria de semicondutores e fotovoltaica.

O noso equipo técnico provén das principais institucións de investigación nacionais, pode proporcionarlle solucións materiais máis profesionais.

Desenvolvemos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiais máis avanzados e elaboramos unha tecnoloxía patentada exclusiva, que pode facer que a unión entre o revestimento e o substrato sexa máis estreita e menos propensa a desprenderse.

Benvido a visitar a nosa fábrica, imos ter máis discusións!