Procesamento UV para envases a nivel de obleas fan-out

Fan out wafer level packaging (FOWLP) é un método rendible na industria de semicondutores. Pero os efectos secundarios típicos deste proceso son a deformación e a compensación do chip. A pesar da mellora continua do nivel de obleas e da tecnoloxía de ventilación do nivel do panel, aínda existen estes problemas relacionados co moldeado.

A deformación é causada pola contracción química do composto líquido de moldeo por compresión (LCM) durante o curado e o arrefriamento despois do moldeado. O segundo motivo da deformación é a falta de coincidencia no coeficiente de expansión térmica (CTE) entre o chip de silicio, o material de moldeo e o substrato. A compensación débese ao feito de que os materiais de moldeo viscoso con alto contido de recheo normalmente só se poden usar a alta temperatura e alta presión. A medida que o chip se fixa ao soporte mediante unión temporal, o aumento da temperatura suavizará o adhesivo, debilitando así a súa forza adhesiva e reducindo a súa capacidade para fixar o chip. A segunda razón para a compensación é que a presión necesaria para o moldeo crea tensión en cada chip.

Para atopar solucións a estes desafíos, DELO realizou un estudo de viabilidade unindo un simple chip analóxico a un portador. En termos de configuración, a oblea portadora está recuberta con adhesivo de unión temporal e o chip colócase boca abaixo. Posteriormente, a oblea foi moldeada usando un adhesivo DELO de baixa viscosidade e curada con radiación ultravioleta antes de eliminar a oblea portadora. En tales aplicacións, adoitan empregarse compostos de moldeo termoestables de alta viscosidade.

640

DELO tamén comparou a deformación dos materiais de moldeo termoendurecibles e os produtos curados por UV no experimento, e os resultados mostraron que os materiais de moldeo típicos deformaríanse durante o período de arrefriamento despois do termoendurecido. Polo tanto, usar o curado por ultravioleta a temperatura ambiente en lugar do curado por quecemento pode reducir en gran medida o impacto do desajuste do coeficiente de expansión térmica entre o composto de moldeo e o portador, minimizando así a deformación na maior medida posible.

O uso de materiais de curado ultravioleta tamén pode reducir o uso de recheos, reducindo así a viscosidade e o módulo de Young. A viscosidade do modelo de adhesivo utilizado na proba é de 35000 mPa · s, e o módulo de Young é de 1 GPa. Debido á ausencia de calefacción ou a alta presión sobre o material de moldeo, a compensación de viruta pódese minimizar na maior medida posible. Un composto de moldeo típico ten unha viscosidade duns 800.000 mPa · s e un módulo de Young no intervalo de dous díxitos.

En xeral, a investigación demostrou que o uso de materiais curados por UV para a moldaxe de grandes superficies é beneficioso para producir embalaxes a nivel de obleas, mentres se minimiza a deformación e a compensación do chip na medida do posible. A pesar das diferenzas significativas nos coeficientes de expansión térmica entre os materiais empregados, este proceso aínda ten múltiples aplicacións debido á ausencia de variación de temperatura. Ademais, o curado UV tamén pode reducir o tempo de curado e o consumo de enerxía.

640

Os UV en lugar do curado térmico reducen a deformación e o desplazamento da matriz nos envases de nivel de obleas en fan-out

Comparación de obleas revestidas de 12 polgadas usando un composto de alto recheo curado térmicamente (A) e un composto curado por UV (B)


Hora de publicación: 05-novembro-2024
Chat en liña de WhatsApp!