Explícase en detalle a estrutura interna do equipo de tubos do forno

Como se mostra arriba, é un típico

A primeira metade:
Elemento de calefacción (bobina de calefacción): situado ao redor do tubo do forno, normalmente feito de fíos de resistencia, usado para quentar o interior do tubo do forno.
Tubo de cuarzo: o núcleo dun forno de oxidación en quente, feito de cuarzo de alta pureza que pode soportar altas temperaturas e permanecer químicamente inerte.
Alimentación de gas: Situado na parte superior ou lateral do tubo do forno, úsase para transportar osíxeno ou outros gases ao interior do tubo do forno.
Brida SS: compoñentes que conectan tubos de cuarzo e liñas de gas, garantindo a estanquidade e estabilidade da conexión.
Liñas de alimentación de gas: Tubos que conectan o MFC ao porto de subministración de gas para a transmisión de gas.
MFC (Mass Flow Controller): Un dispositivo que controla o fluxo de gas dentro dun tubo de cuarzo para regular con precisión a cantidade de gas necesaria.
Vent: Úsase para ventilar os gases de escape desde o interior do tubo do forno cara ao exterior do equipo.

Parte inferior
Obleas de silicio no soporte: as obleas de silicio están aloxadas nun soporte especial para garantir unha calor uniforme durante a oxidación.
Soporte para obleas: úsase para suxeitar a oblea de silicio e garantir que a oblea de silicio permanece estable durante o proceso.
Pedestal: estrutura que sostén un soporte para obleas de silicio, normalmente feito dun material resistente ás altas temperaturas.
Ascensor: Úsase para levantar os soportes de obleas dentro e fóra dos tubos de cuarzo para a carga e descarga automática de obleas de silicio.
Robot de transferencia de obleas: situado no lateral do dispositivo do tubo do forno, utilízase para eliminar automaticamente a oblea de silicio da caixa e colocala no tubo do forno ou retirala despois do procesamento.
Carrusel de almacenamento de casetes: o carrusel de almacenamento de casetes úsase para almacenar unha caixa que contén obleas de silicio e pódese xirar para o acceso do robot.
Casete de obleas: o casete de obleas úsase para almacenar e transferir as obleas de silicio a procesar.