Explícase en detalle a estrutura interna do equipo de tubos do forno

Como se mostra arriba, é un típico

A primeira metade:

▪ Elemento de calefacción (bobina de calefacción):

situado ao redor do tubo do forno, normalmente feito de fíos de resistencia, usado para quentar o interior do tubo do forno.

▪ Tubo de cuarzo:

O núcleo dun forno de oxidación en quente, feito de cuarzo de alta pureza que pode soportar altas temperaturas e permanecer químicamente inerte.

▪ Alimentación de gas:

Situado na parte superior ou lateral do tubo do forno, úsase para transportar osíxeno ou outros gases ao interior do tubo do forno.

▪ Brida SS:

compoñentes que conectan tubos de cuarzo e liñas de gas, garantindo a estanquidade e estabilidade da conexión.

▪ Liñas de alimentación de gas:

Tubos que conectan o MFC ao porto de subministración de gas para o transporte de gas.

▪ MFC (controlador de fluxo de masa):

Un dispositivo que controla o fluxo de gas dentro dun tubo de cuarzo para regular con precisión a cantidade de gas necesaria.

▪ Vento:

Úsase para ventilar o gas de escape desde o interior do tubo do forno cara ao exterior do equipo.

Parte inferior:

▪ Obleas de silicio en soporte:

As obleas de silicio están aloxadas nun soporte especial para garantir unha calor uniforme durante a oxidación.

▪ Soporte para obleas:

Úsase para suxeitar a oblea de silicio e garantir que a oblea de silicio permanece estable durante o proceso.

▪ Pedestal:

Unha estrutura que sostén un soporte para obleas de silicio, normalmente feito dun material resistente ás altas temperaturas.

▪ Ascensor:

Usado para levantar os soportes de obleas dentro e fóra de tubos de cuarzo para a carga e descarga automática de obleas de silicio.

▪ Robot de transferencia de obleas:

situado no lado do dispositivo do tubo do forno, úsase para eliminar automaticamente a oblea de silicio da caixa e colocala no tubo do forno, ou eliminala despois do procesamento.

▪ Carrusel de almacenamento de casetes:

O carrusel de almacenamento de casetes úsase para almacenar unha caixa que contén obleas de silicio e pódese xirar para o acceso do robot.

▪ Casete de obleas:

O casete de obleas úsase para almacenar e transferir as obleas de silicio a procesar.