As principais funcións debarco de carburo de silicioo soporte e o soporte do barco de cuarzo son os mesmos.Barco de carburo de silicioo soporte ten un rendemento excelente pero un prezo elevado. Constitúe unha relación alternativa co apoio de barcos de cuarzo en equipos de procesamento de baterías con condicións de traballo duras (como equipos LPCVD e equipos de difusión de boro). Nos equipos de procesamento de baterías con condicións de traballo habituais, debido ás relacións de prezos, o carburo de silicio e o soporte de barcos de cuarzo convértense en categorías coexistentes e competidoras.
① Relación de substitución en equipos de difusión de boro e LPCVD
O equipo LPCVD utilízase para a oxidación do túnel de células de batería e o proceso de preparación da capa de polisilicio dopado. Principio de funcionamento:
Baixo unha atmosfera de baixa presión, combinada coa temperatura adecuada, a reacción química e a formación de película de deposición conséguense para preparar unha capa de óxido de túnel ultrafina e unha película de polisilicio. No proceso de oxidación do túnel e de preparación da capa de polisilicio dopado, o soporte do barco ten unha alta temperatura de traballo e depositarase unha película de silicio na superficie. O coeficiente de expansión térmica do cuarzo é bastante diferente do do silicio. Cando se usa no proceso anterior, é necesario decapar e eliminar regularmente o silicio depositado na superficie para evitar que o soporte do barco de cuarzo se rompa debido á expansión e contracción térmicas debido ao diferente coeficiente de expansión térmica do silicio. Debido ao decapado frecuente e á baixa resistencia ás altas temperaturas, o soporte do barco de cuarzo ten unha vida curta e substitúese con frecuencia no proceso de preparación da capa de polisilicio dopado e oxidación do túnel, o que aumenta significativamente o custo de produción da pila da batería. O coeficiente de expansión decarburo de silicioé próximo ao do silicio. O integradobarco de carburo de siliciotitular non require decapado na oxidación do túnel e proceso de preparación da capa de polisilicio dopado. Ten alta resistencia a altas temperaturas e longa vida útil. É unha boa alternativa ao soporte de barco de cuarzo.
O equipo de expansión de boro úsase principalmente para o proceso de dopado de elementos de boro no substrato da oblea de silicio de tipo N da célula da batería para preparar o emisor de tipo P para formar unha unión PN. O principio de traballo é realizar reaccións químicas e formación de películas de deposición molecular nunha atmosfera de alta temperatura. Despois de formar a película, pódese difundir mediante calefacción a alta temperatura para realizar a función de dopaxe da superficie da oblea de silicio. Debido á alta temperatura de traballo do equipo de expansión de boro, o soporte de barco de cuarzo ten unha baixa resistencia a altas temperaturas e unha curta vida útil no equipo de expansión de boro. O integradobarco de carburo de silicioO soporte ten alta resistencia a altas temperaturas e é unha boa alternativa ao soporte de barco de cuarzo no proceso de expansión do boro.
② Relación de substitución noutros equipos de proceso
Os soportes para barcos SiC teñen unha capacidade de produción axustada e un excelente rendemento. O seu prezo é xeralmente superior ao dos soportes para barcos de cuarzo. Nas condicións xerais de traballo dos equipos de procesamento celular, a diferenza na vida útil entre os soportes de barcos de SiC e os soportes de barcos de cuarzo é pequena. Os clientes intermedios comparan e escollen principalmente entre prezo e rendemento en función dos seus propios procesos e necesidades. Os soportes para barcos de SiC e os soportes para barcos de cuarzo fixéronse coexistentes e competitivos. Non obstante, a marxe de beneficio bruto dos soportes de barcos de SiC é relativamente alta na actualidade. Co descenso do custo de produción dos soportes para barcos de SiC, se o prezo de venda dos soportes para barcos de SiC diminúe activamente, tamén suporá unha maior competitividade para os soportes de barcos de cuarzo.
Relación de uso
A ruta da tecnoloxía celular é principalmente tecnoloxía PERC e tecnoloxía TOPCon. A cota de mercado da tecnoloxía PERC é do 88% e a cota de mercado da tecnoloxía TOPCon é do 8,3%. A cota de mercado combinada dos dous é do 96,30%.
Como se mostra na seguinte figura:
Na tecnoloxía PERC, os soportes dos barcos son necesarios para os procesos de difusión e recocido de fósforo frontal. Na tecnoloxía TOPCon, os soportes de barco son necesarios para os procesos de difusión frontal de boro, LPCVD, difusión posterior de fósforo e recocido. Na actualidade, os soportes para barcos de carburo de silicio utilízanse principalmente no proceso LPCVD da tecnoloxía TOPCon, e verificouse principalmente a súa aplicación no proceso de difusión de boro.
Figura Aplicación de soportes de embarcacións no proceso de procesado celular
Nota: despois do revestimento frontal e traseiro das tecnoloxías PERC e TOPCon, aínda hai ligazóns como serigrafía, sinterización e probas e clasificación, que non implican o uso de soportes para embarcacións e non están listadas na figura anterior.
Hora de publicación: 15-Oct-2024