SiC-pinnoite/päällystetty grafiittialusta/alusta puolijohteelle

Lyhyt kuvaus:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor for Epitaxial Growth on korkean suorituskyvyn tuote, joka on suunniteltu tarjoamaan tasaisen ja luotettavan suorituskyvyn pitkän ajan. Sillä on erittäin hyvä lämmönkestävyys ja lämpötasaisuus, korkea puhtaus, eroosionkestävyys, joten se on täydellinen ratkaisu kiekkojen käsittelysovelluksiin.


Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

SiC-pinnoite/pinnoitettu grafiittisuskeptori puolijohteelle
 
TheSiC-pinnoitettu grafiittisubstraattion erittäin kestävä ja tehokas ratkaisu, joka on suunniteltu täyttämään puolijohdeteollisuuden tiukat vaatimukset. Sisältää erittäin puhtaan kerroksenpiikarbidi (SiC) pinnoiteTämä substraatti tarjoaa poikkeuksellisen lämmönkestävyyden, hapettumisenkestävyyden ja pitkän käyttöiän, mikä tekee siitä ihanteellisen sovelluksiin MOCVD-prosesseissa, grafiittikiekkojen alustassa ja muissa korkeissa lämpötiloissa.

 Ominaisuudet: 
· Erinomainen lämpöiskun kestävyys
· Erinomainen fyysinen iskunkesto
· Erinomainen kemikaalinkestävyys
· Erittäin puhdas
· Saatavuus monimutkaisessa muodossa
·Käytettävissä hapettavassa ilmapiirissä

Sovellus:

3

Tuotteen ominaisuudet ja edut:

1. Erinomainen lämmönkestävyys:Korkean puhtauden kanssaSiC pinnoite, substraatti kestää äärimmäisiä lämpötiloja, mikä varmistaa tasaisen suorituskyvyn vaativissa ympäristöissä, kuten epitaksia ja puolijohteiden valmistuksessa.

2. Parannettu kestävyys:SiC-pinnoitetut grafiittikomponentit on suunniteltu kestämään kemiallista korroosiota ja hapettumista, mikä pidentää alustan käyttöikää verrattuna tavallisiin grafiittisubstraatteihin.

3. Lasimainen päällystetty grafiitti:Ainutlaatuinen lasimainen rakenneSiC pinnoitetarjoaa erinomaisen pinnan kovuuden, minimoiden kulumisen korkean lämpötilan käsittelyssä.

4. Erittäin puhdas piikarbidipinnoite:Substraattimme varmistaa minimaalisen kontaminoitumisen herkissä puolijohdeprosesseissa, mikä tarjoaa luotettavuutta teollisuudelle, joka vaatii tiukkaa materiaalin puhtautta.

5. Laaja markkinasovellus:TheSiC-pinnoitettu grafiittisuskeptorimarkkinat kasvavat edelleen, kun kehittyneiden piikarbidipinnoitettujen tuotteiden kysyntä puolijohteiden valmistuksessa kasvaa, mikä tekee tästä alustasta avaintekijän sekä grafiittikiekkojen alustamarkkinoilla että piikarbidilla päällystettyjen grafiittialustojen markkinoilla.

Pohjagrafiittimateriaalin tyypilliset ominaisuudet:

Näennäinen tiheys: 1,85 g/cm3
Sähkövastus: 11 μΩm
Taivutuslujuus: 49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore-kovuus: 58
Tuhka: <5 ppm
Lämmönjohtavuus: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC:n fysikaaliset perusominaisuudetpinnoite

性质 / Kiinteistö

典型数值 / Tyypillinen arvo

晶体结构 / Crystal Structure

FCC β-vaihe 多晶,主要为(111)取向

密度 / Tiheys

3,21 g/cm³

硬度 / Kovuus

2500 维氏硬度 (500 g kuorma)

晶粒大小 / Grain Size

2-10 μm

纯度 / Kemiallinen puhtaus

99,99995 %

热容 / Lämpökapasiteetti

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimaatiolämpötila

2700 ℃

抗弯强度 / Taivutusvoima

415 MPa RT 4-piste

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃

导热系数 / Lämmönjohtavuus

300 W · m-1·K-1

热膨胀系数 / Thermal Expansion (CTE)

4,5 × 10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy on räätälöityjen grafiitti- ja piikarbidituotteiden todellinen valmistaja erilaisilla pinnoitteilla, kuten SiC-pinnoite, TaC-pinnoite, lasimainen hiilipinnoite, pyrolyyttinen hiilipinnoite jne., Voi toimittaa erilaisia ​​räätälöityjä osia puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudelle.

Tekninen tiimimme tulee parhaista kotimaisista tutkimuslaitoksista, voi tarjota sinulle ammattimaisempia materiaaliratkaisuja.

Kehitämme jatkuvasti edistyneitä prosesseja tarjotaksemme entistä kehittyneempiä materiaaleja, ja olemme kehittäneet ainutlaatuisen patentoidun teknologian, joka voi tehdä pinnoitteen ja alustan välisestä sidoksesta tiukemman ja vähemmän altis irtoamiselle.

Lämpimästi tervetuloa vierailemaan tehtaallamme, keskustellaan lisää!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Edellinen:
  • Seuraavaksi:

  • WhatsApp Online Chat!