SiC-pinnoite/päällystetty grafiittialusta/alusta puolijohteelle

Lyhyt kuvaus:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor for Epitaxial Growth on korkean suorituskyvyn tuote, joka on suunniteltu tarjoamaan tasaisen ja luotettavan suorituskyvyn pitkän ajan.Sillä on erittäin hyvä lämmönkestävyys ja lämpötasaisuus, korkea puhtaus, eroosionkestävyys, joten se on täydellinen ratkaisu kiekkojen käsittelysovelluksiin.


Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

SiC-pinnoite/pinnoitettu grafiittisuskeptori puolijohteelle
 
SiC Coated Graphite Susceptor on keskeinen komponentti, jota käytetään erilaisissa puolijohteiden valmistusprosesseissa.Käytämme patentoitua teknologiaamme valmistaaksemme piikarbidista kantajaa, jolla on erittäin korkea puhtaus, hyvä pinnoitteen tasaisuus ja erinomainen käyttöikä sekä korkea kemiallinen kestävyys ja lämmönkestävyys.

 Ominaisuudet: 
· Erinomainen lämpöiskun kestävyys
· Erinomainen fyysinen iskunkesto
· Erinomainen kemikaalinkestävyys
· Erittäin puhdas
· Saatavuus monimutkaisessa muodossa
·Käytettävissä hapettavassa ilmapiirissä

Sovellus:

3

Pohjagrafiittimateriaalin tyypilliset ominaisuudet:

Näennäinen tiheys: 1,85 g/cm3
Sähkövastus: 11 μΩm
Taivutuslujuus: 49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore-kovuus: 58
Tuhka: <5 ppm
Lämmönjohtokyky: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC:n fysikaaliset perusominaisuudetpinnoite

性质 / Kiinteistö

典型数值 / Tyypillinen arvo

晶体结构 / Crystal Structure

FCC β-vaihe 多晶,主要为(111)取向

密度 / Tiheys

3,21 g/cm³

硬度 / Kovuus

2500 维氏硬度 (500 g kuorma)

晶粒大小 / Grain Size

2-10 μm

纯度 / Kemiallinen puhtaus

99,99995 %

热容 / Lämpökapasiteetti

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimaatiolämpötila

2700 ℃

抗弯强度 / Taivutusvoima

415 MPa RT 4-piste

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃

导热系数 / Lämmönjohtavuus

300 W · m-1·K-1

热膨胀系数 / Thermal Expansion (CTE)

4,5 × 10-6K-1

1

2

 

VET Energy on räätälöityjen grafiitti- ja piikarbidituotteiden todellinen valmistaja erilaisilla pinnoitteilla, kuten SiC-pinnoite, TaC-pinnoite, lasimainen hiilipinnoite, pyrolyyttinen hiilipinnoite jne., Voi toimittaa erilaisia ​​räätälöityjä osia puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudelle.

Tekninen tiimimme tulee parhaista kotimaisista tutkimuslaitoksista, voi tarjota sinulle ammattimaisempia materiaaliratkaisuja.

Kehitämme jatkuvasti edistyneitä prosesseja tarjotaksemme entistä kehittyneempiä materiaaleja, ja olemme kehittäneet ainutlaatuisen patentoidun teknologian, joka voi tehdä pinnoitteen ja alustan välisestä sidoksesta tiukemman ja vähemmän altis irtoamiselle.

Lämpimästi tervetuloa vierailemaan tehtaallamme, keskustellaan lisää!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Edellinen:
  • Seuraava:

  • WhatsApp Online Chat!