SiC kaetud sutsetpor on võtmekomponent, mida kasutatakse erinevates pooljuhtide tootmisprotsessides. Kasutame oma patenteeritud tehnoloogiat, et valmistada ränikarbiidiga kaetud sutseptoori, millel on äärmiselt kõrge puhtusaste, hea katte ühtlus ja suurepärane kasutusiga, samuti kõrge keemilise vastupidavuse ja termilise stabiilsuse omadused.
Meie toodete omadused:
1. Kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus kuni 1700 ℃.
2. Kõrge puhtusaste ja termiline ühtlus
3. Suurepärane korrosioonikindlus: happe, leelise, soola ja orgaanilised reaktiivid.
4. Kõrge kõvadus, kompaktne pind, peened osakesed.
5. Pikem kasutusiga ja vastupidavam
| CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC põhilised füüsikalised omadusedkatmine | |
| 性质 / Kinnisvara | 典型数值 / Tüüpiline väärtus |
| 晶体结构 / Kristallstruktuur | FCC β faas多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Tihedus | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Kõvadus | 2500 维氏硬度 (500 g koorem) |
| 晶粒大小 / Terasuurus | 2-10 μm |
| 纯度 / Keemiline puhtus | 99,99995% |
| 热容 / Soojusvõimsus | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimatsiooni temperatuur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Paindetugevus | 415 MPa RT 4-punktiline |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalJuhtivus | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Soojuspaisumine (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
Tere tulemast meie tehast külastama, arutame edasi!
