SiC-kattega grafiidikandja / sustseptor

Lühikirjeldus:

VET Energy SiC kaetud grafiitkandja/susceptor on suure jõudlusega toode, mis on loodud pakkuma püsivat ja usaldusväärset jõudlust pikema aja jooksul. Sellel on ülihea kuumakindlus ja termiline ühtlus, kõrge puhtusaste, erosioonikindlus, mistõttu on see ideaalne lahendus vahvlite töötlemiseks.

 


Toote üksikasjad

Tootesildid

SiC kaetud sutsetpor on võtmekomponent, mida kasutatakse erinevates pooljuhtide tootmisprotsessides. Kasutame oma patenteeritud tehnoloogiat, et valmistada ränikarbiidiga kaetud sutseptoori, millel on äärmiselt kõrge puhtusaste, hea katte ühtlus ja suurepärane kasutusiga, samuti kõrge keemilise vastupidavuse ja termilise stabiilsuse omadused.

Meie toodete omadused:

1. Kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus kuni 1700 ℃.
2. Kõrge puhtusaste ja termiline ühtlus
3. Suurepärane korrosioonikindlus: happe, leelise, soola ja orgaanilised reaktiivid.
4. Kõrge kõvadus, kompaktne pind, peened osakesed.
5. Pikem kasutusiga ja vastupidavam

vedaja2 vedaja4

vedaja1 vedaja3

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC põhilised füüsikalised omadusedkatmine

性质 / Kinnisvara

典型数值 / Tüüpiline väärtus

晶体结构 / Kristallstruktuur

FCC β faas多晶,主要为(111)取向

密度 / Tihedus

3,21 g/cm³

硬度 / Kõvadus

2500 维氏硬度 (500 g koorem)

晶粒大小 / Terasuurus

2-10 μm

纯度 / Keemiline puhtus

99,99995%

热容 / Soojusvõimsus

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimatsiooni temperatuur

2700 ℃

抗弯强度 / Paindetugevus

415 MPa RT 4-punktiline

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃

导热系数 / ThermalJuhtivus

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Soojuspaisumine (CTE)

4,5 × 10-6K-1

1

2

Tervitame teid meie tehast külastama, arutame edasi!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Eelmine:
  • Järgmine:

  • WhatsAppi veebivestlus!