VET Energy 8-tolline P-tüüpi silikoonplaat on suure jõudlusega räniplaat, mis on loodud paljude pooljuhtrakenduste jaoks, sealhulgas päikesepatareid, MEMS-seadmeid ja integraallülitusi. Oma suurepärase elektrijuhtivuse ja ühtlase jõudluse poolest tuntud vahvel on eelistatud valik tootjatele, kes soovivad toota usaldusväärseid ja tõhusaid elektroonilisi komponente. VET Energy tagab täpse dopingutaseme ja kvaliteetse pinnaviimistluse seadme optimaalseks valmistamiseks.
Need 8-tollised P-tüüpi räniplaadid ühilduvad täielikult erinevate materjalidega, nagu SiC-substraat, SOI-vahvel, SiN-substraat, ja sobivad Epi-vahvlite kasvatamiseks, tagades mitmekülgsuse täiustatud pooljuhtide tootmisprotsesside jaoks. Vahvleid saab kasutada ka koos teiste kõrgtehnoloogiliste materjalidega, nagu galliumoksiid Ga2O3 ja AlN Wafer, muutes need ideaalseks järgmise põlvkonna elektroonilisteks rakendusteks. Nende tugev disain sobib sujuvalt ka kassetipõhistesse süsteemidesse, tagades tõhusa ja suure mahuga tootmise.
VET Energy pakub klientidele kohandatud vahvlilahendusi. Saame kohandada erineva takistuse, hapnikusisalduse, paksusega jne vahvleid vastavalt klientide spetsiifilistele vajadustele. Lisaks pakume ka professionaalset tehnilist tuge ja müügijärgset teenindust, et aidata klientidel lahendada erinevaid tootmisprotsessi käigus tekkinud probleeme.
VAHVELITE SPETSIFIKATSIOONID
*n-Pm = n-tüüpi Pm-klass, n-Ps = n-tüüpi Ps-aste, Sl = poolisoleeriv
Üksus | 8-tolline | 6-tolline | 4-tolline | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6 um | ≤6 um | |||
Bow(GF3YFCD)-absoluutväärtus | ≤15 μm | ≤15 μm | ≤25 μm | ≤15 μm | |
Warp (GF3YFER) | ≤25 μm | ≤25 μm | ≤40 μm | ≤25 μm | |
LTV (SBIR) - 10 mm x 10 mm | <2 μm | ||||
Vahvli serv | Kaldus |
PINNA VIIMISTLUS
*n-Pm = n-tüüpi Pm-klass, n-Ps = n-tüüpi Ps-aste, Sl = poolisoleeriv
Üksus | 8-tolline | 6-tolline | 4-tolline | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Pinnaviimistlus | Kahepoolne optiline poleer, Si-Face CMP | ||||
Pinna karedus | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm | |||
Edge Chips | Pole lubatud (pikkus ja laius ≥0,5 mm) | ||||
Taanded | Mitte ükski Lubatud | ||||
Kriimud (Si-Face) | Kogus≤5, kumulatiivne | Kogus≤5, kumulatiivne | Kogus≤5, kumulatiivne | ||
Praod | Mitte ükski Lubatud | ||||
Serva välistamine | 3 mm |