4-tolline GaN SiC Waferil

4-tolline GaN SiC Waferi esiletõstetud pildil

Lühikirjeldus:

VET Energy 4-tolline GaN on SiC vahvel on jõuelektroonika valdkonnas revolutsiooniline toode. See vahvel ühendab ränikarbiidi (SiC) suurepärase soojusjuhtivuse suure võimsustiheduse ja väikese galliumnitriidi (GaN) kaoga, muutes selle ideaalseks valikuks kõrgsageduslike ja suure võimsusega seadmete valmistamiseks. VET Energy tagab vahvli suurepärase jõudluse ja järjepidevuse täiustatud MOCVD epitaksiaaltehnoloogia abil.

Saada meile e-kiri Laadige alla PDF-ina

Toote üksikasjad

Tootesildid

VET Energy tootesari ei piirdu GaN-iga SiC vahvlitel. Pakume ka laias valikus pooljuhtsubstraadi materjale, sealhulgas Si Wafer, SiC substraat, SOI Wafer, SiN substrate, Epi Wafer jne. Lisaks arendame aktiivselt ka uusi laia ribalaiusega pooljuhtmaterjale, nagu galliumoksiid Ga2O3 ja AlN Vahvel, et rahuldada tulevase jõuelektroonikatööstuse nõudlust suurema jõudlusega seadmete järele.

VET Energy pakub paindlikke kohandamisteenuseid ja saab kohandada erineva paksusega, erinevat tüüpi dopingu ja erineva suurusega vahvlite GaN epitaksiaalseid kihte vastavalt klientide konkreetsetele vajadustele. Lisaks pakume ka professionaalset tehnilist tuge ja müügijärgset teenindust, et aidata klientidel kiiresti välja töötada suure jõudlusega jõuelektroonikaseadmeid.

VAHVELITE SPETSIFIKATSIOONID

*n-Pm = n-tüüpi Pm-klass, n-Ps = n-tüüpi Ps-aste, Sl = poolisoleeriv

Üksus	8-tolline	6-tolline			4-tolline
Üksus	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
TTV (GBIR)	≤6 um	≤6 um
Bow(GF3YFCD)-absoluutväärtus	≤15 μm	≤15 μm	≤25 μm		≤15 μm
Warp (GF3YFER)	≤25 μm	≤25 μm	≤40 μm		≤25 μm
LTV (SBIR) - 10 mm x 10 mm	<2 μm
Vahvli serv	Kaldus

PINNA VIIMISTLUS

*n-Pm = n-tüüpi Pm-klass, n-Ps = n-tüüpi Ps-aste, Sl = poolisoleeriv

Üksus	8-tolline	6-tolline			4-tolline
	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
Pinna viimistlus	Kahepoolne optiline poleer, Si-Face CMP
Pinna karedus	(10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm C-Face Ra≤ 0,5 nm			(5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm C-Face Ra≤0,5nm
Edge Chips	Pole lubatud (pikkus ja laius ≥0,5 mm)
Taanded	Mitte ükski Lubatud
Kriimud (Si-Face)	Kogus≤5, kumulatiivne Pikkus ≤0,5 × vahvli läbimõõt	Kogus≤5, kumulatiivne Pikkus ≤0,5 × vahvli läbimõõt			Kogus≤5, kumulatiivne Pikkus ≤0,5 × vahvli läbimõõt
Praod	Mitte ükski Lubatud
Serva välistamine	3 mm