El precio más bajo para el calentador de grafito personalizado de alta calidad de China para horno de lingotes de silicio policristalino

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Una oblea es una lámina de silicio de aproximadamente 1 milímetro de espesor que presenta una superficie extremadamente plana gracias a procedimientos técnicamente muy exigentes. El uso posterior determina qué procedimiento de crecimiento de cristales se debe emplear. En el proceso de Czochralski, por ejemplo, se funde el silicio policristalino y se sumerge un cristal semilla del grosor de un lápiz en el silicio fundido. Luego se gira el cristal semilla y se tira lentamente hacia arriba. El resultado es un coloso muy pesado, un monocristal. Es posible seleccionar las características eléctricas del monocristal añadiendo pequeñas unidades de dopantes de alta pureza. Los cristales se dopan según las especificaciones del cliente, luego se pulen y se cortan en rodajas. Después de varios pasos de producción adicionales, el cliente recibe las obleas especificadas en un embalaje especial, lo que le permite utilizar la oblea inmediatamente en su línea de producción.

Una oblea debe pasar por varios pasos antes de estar lista para su uso en dispositivos electrónicos. Un proceso importante es la epitaxia del silicio, en la que las obleas se transportan sobre susceptores de grafito. Las propiedades y la calidad de los susceptores tienen un efecto crucial en la calidad de la capa epitaxial de la oblea.

Para fases de deposición de películas delgadas como epitaxia o MOCVD, VET suministra equipos de grafito ultrapuro utilizados para soportar sustratos u "obleas". En el centro del proceso, estos equipos, susceptores de epitaxia o plataformas satelitales para el MOCVD, se someten primero al entorno de deposición:

Temperatura alta.
Alto vacío.
Uso de precursores gaseosos agresivos.
Cero contaminación, ausencia de descamación.
Resistencia a ácidos fuertes durante las operaciones de limpieza.