Maldika filma demetaĵo estas kovri tavolon de filmo sur la ĉefa substratmaterialo de la duonkonduktaĵo. Ĉi tiu filmo povas esti farita el diversaj materialoj, kiel izola kunmetita silicio-dioksido, duonkondukta polisilicio, metala kupro, ktp. La ekipaĵo uzata por tegaĵo nomiĝas maldika filmo-demetado...
Legu pli