La ĉefaj funkcioj desilicikarbura boatosubteno kaj kvarca boatsubteno estas la sama.Silicikarbura boatosubteno havas bonegan rendimenton sed altan prezon. Ĝi konsistigas alternativan rilaton kun kvarca boatsubteno en kuirilaro-pretiga ekipaĵo kun severaj laborkondiĉoj (kiel ekzemple LPCVD-ekipaĵo kaj boro-disvastigo-ekipaĵo). En kuirilaro-pretiga ekipaĵo kun ordinaraj laborkondiĉoj, pro prezrilatoj, siliciokarbido kaj kvarca boatsubteno fariĝas kunekzistantaj kaj konkurantaj kategorioj.
① Anstataŭiga rilato en LPCVD kaj boro-disvastigo-ekipaĵo
LPCVD-ekipaĵo estas uzata por baterioĉelo-tunela oksigenado kaj dopita polisilicia tavola preparprocezo. Funkcia principo:
Sub malaltprema atmosfero, kombinita kun taŭga temperaturo, kemia reago kaj depona filmo-formado estas atingita por prepari ultra-maldikan tunelan oksidan tavolon kaj polisilician filmon. En la tunela oxidado kaj dopata polisilicia tavolo preparprocezo, la boatsubteno havas altan labortemperaturon kaj silicia filmo estos deponita sur la surfaco. La termika disvastiĝokoeficiento de kvarco estas sufiĉe diferenca de tiu de silicio. Kiam estas uzata en la ĉi-supra procezo, necesas regule pikli kaj forigi la silicion deponitan sur la surfaco por eviti ke la kvarca boatsubteno rompiĝu pro termika ekspansio kaj kuntiriĝo pro la malsama termika ekspansio koeficiento de silicio. Pro ofta peklado kaj malalta alt-temperatura forto, la kvarca boato tenilo havas mallongan vivon kaj estas ofte anstataŭigita en la tunela oxidado kaj dopita polisilicia tavolo preparado procezo, kiu signife pliigas la produktokosto de la bateria ĉelo. La ekspansiokoeficiento desiliciokarbidoestas proksima al tiu de silicio. La integritasilicikarbura boatoposedanto ne postulas pickling en la tunelo oxidación kaj dopita polysilicon tavolo preparado procezo. Ĝi havas altan alt-temperaturan forton kaj longan servodaŭron. Ĝi estas bona alternativo al la kvarca boatotenilo.
Bora ekspansia ekipaĵo estas ĉefe uzata por la procezo de dopado de boro-elementoj sur la N-tipa silicia obla substrato de la baterioĉelo por prepari la P-tipan emisilon por formi PN-krucvojon. La laborprincipo estas realigi kemian reagon kaj molekulan deponan filmon formadon en alt-temperatura atmosfero. Post kiam la filmo estas formita, ĝi povas esti disvastigita per alt-temperatura hejtado por realigi la dopan funkcion de la silicia oblasurfaco. Pro la alta labortemperaturo de la boro ekspansia ekipaĵo, la kvarca boato-posedanto havas malaltan alt-temperaturan forton kaj mallongan funkcidaŭron en la boro-eksanstiĝa ekipaĵo. La integritasilicikarbura boatotenilo havas altan alttemperaturan forton kaj estas bona alternativo al la kvarca boato en la boro-vastiĝprocezo.
② Anstataŭiga rilato en aliaj procezaj ekipaĵoj
SiC boatsubtenoj havas streĉan produktadkapaciton kaj bonegan agadon. Ilia prezo estas ĝenerale pli alta ol tiu de kvarcaj boatsubtenoj. En ĝeneralaj laborkondiĉoj de ĉela pretiga ekipaĵo, la diferenco en servodaŭro inter SiC-boatsubtenoj kaj kvarco-boatsubtenoj estas malgranda. Laŭfluaj klientoj ĉefe komparas kaj elektas inter prezo kaj efikeco laŭ siaj propraj procezoj kaj bezonoj. SiC boatsubtenoj kaj kvarco boatsubtenoj fariĝis kunekzistantaj kaj konkurencivaj. Tamen, la malneta profitmarĝeno de SiC boatsubtenoj estas relative alta nuntempe. Kun la malkresko de la produktadkosto de SiC boatsubtenoj, se la venda prezo de SiC boatsubtenoj aktive malpliiĝas, ĝi ankaŭ prezentos pli grandan konkurencivon al kvarcaj boatsubtenoj.
Proporcio de uzado
La ĉelteknologia itinero estas plejparte PERC-teknologio kaj TOPCon-teknologio. La merkatparto de PERC-teknologio estas 88%, kaj la merkatparto de TOPCon-teknologio estas 8.3%. La kombinita merkatparto de la du estas 96.30%.
Kiel montrite en la figuro malsupre:
En PERC-teknologio, boatsubtenoj estas postulataj por la antaŭaj fosfordisvastigo kaj kalciaj procezoj. En TOPCon-teknologio, boatsubtenoj estas postulataj por la antaŭa bordisvastigo, LPCVD, malantaŭa fosfordisvastigo kaj kalciaj procezoj. Nuntempe, silicikarburaj boatsubtenoj estas ĉefe uzataj en la LPCVD-procezo de TOPCon-teknologio, kaj ilia apliko en la boro-disvastigo-procezo estis ĉefe kontrolita.
Figuro Apliko de boatsubtenoj en la ĉela prilaborado
Noto: Post la antaŭa kaj malantaŭa tegaĵo de PERC kaj TOPCon-teknologioj, ankoraŭ ekzistas ligiloj kiel ekranprintado, sinterizado kaj testado kaj ordigo, kiuj ne implikas la uzon de boatsubtenoj kaj ne estas listigitaj en la supra figuro.
Afiŝtempo: Oct-15-2024