Η vet-china παρουσιάζει το καινοτόμο Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, μια ολοκληρωμένη λύση για προηγμένη επεξεργασία ημιαγωγών. Σχεδιασμένο με σχολαστική ακρίβεια, αυτό το σύστημα χειρισμού πλακιδίων παρέχει απαράμιλλη σταθερότητα και ευθυγράμμιση, ζωτικής σημασίας για περιβάλλοντα παραγωγής υψηλής απόδοσης.
Το Vertical Column Wafer Boat & Pedestal είναι κατασκευασμένο με υλικά υψηλής ποιότητας που εγγυώνται θερμική σταθερότητα και αντοχή στη χημική διάβρωση, καθιστώντας το κατάλληλο για τις πιο απαιτητικές διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών. Ο μοναδικός σχεδιασμός της κάθετης στήλης υποστηρίζει τις γκοφρέτες με ασφάλεια, μειώνοντας τον κίνδυνο λανθασμένης ευθυγράμμισης και πιθανής ζημιάς κατά τη μεταφορά και την επεξεργασία.
Με την ενσωμάτωση του Vertical Column Wafer Boat & Pedestal της vet-china, οι κατασκευαστές ημιαγωγών μπορούν να αναμένουν βελτιωμένη απόδοση, ελαχιστοποίηση του χρόνου διακοπής λειτουργίας και αυξημένη απόδοση προϊόντος. Αυτό το σύστημα είναι συμβατό με διάφορα μεγέθη και διαμορφώσεις γκοφρέτας, προσφέροντας ευελιξία και επεκτασιμότητα για διαφορετικές ανάγκες παραγωγής.
Η δέσμευση της vet-china για την αριστεία διασφαλίζει ότι κάθε σκάφος & βάθρο Wafer Vertical Column πληροί τα υψηλότερα πρότυπα ποιότητας και απόδοσης. Επιλέγοντας αυτή τη λύση αιχμής, επενδύετε σε μια μελλοντική προσέγγιση χειρισμού γκοφρέτας που μεγιστοποιεί την απόδοση και την αξιοπιστία στην κατασκευή ημιαγωγών.
Ιδιότητες του ανακρυσταλλωμένου καρβιδίου του πυριτίου
Το ανακρυσταλλωμένο καρβίδιο του πυριτίου (R-SiC) είναι ένα υλικό υψηλής απόδοσης με σκληρότητα δεύτερο μετά το διαμάντι, το οποίο σχηματίζεται σε υψηλή θερμοκρασία πάνω από 2000℃. Διατηρεί πολλές εξαιρετικές ιδιότητες του SiC, όπως αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, ισχυρή αντοχή στη διάβρωση, εξαιρετική αντοχή στην οξείδωση, καλή αντοχή σε θερμικό σοκ και ούτω καθεξής.
● Άριστες μηχανικές ιδιότητες. Το ανακρυσταλλωμένο καρβίδιο του πυριτίου έχει υψηλότερη αντοχή και ακαμψία από τις ίνες άνθρακα, υψηλή αντοχή στην κρούση, μπορεί να παίξει καλή απόδοση σε περιβάλλοντα ακραίων θερμοκρασιών, μπορεί να παίξει καλύτερη απόδοση αντιστάθμισης σε διάφορες καταστάσεις. Επιπλέον, έχει επίσης καλή ευκαμψία και δεν καταστρέφεται εύκολα από τέντωμα και κάμψη, γεγονός που βελτιώνει πολύ την απόδοσή του.
● Υψηλή αντοχή στη διάβρωση. Το ανακρυσταλλωμένο καρβίδιο του πυριτίου έχει υψηλή αντοχή στη διάβρωση σε διάφορα μέσα, μπορεί να αποτρέψει τη διάβρωση μιας ποικιλίας διαβρωτικών μέσων, μπορεί να διατηρήσει τις μηχανικές του ιδιότητες για μεγάλο χρονικό διάστημα, έχει ισχυρή πρόσφυση, έτσι ώστε να έχει μεγαλύτερη διάρκεια ζωής. Επιπλέον, έχει επίσης καλή θερμική σταθερότητα, μπορεί να προσαρμοστεί σε ένα ορισμένο εύρος αλλαγών θερμοκρασίας, να βελτιώσει το αποτέλεσμα εφαρμογής του.
● Η πυροσυσσωμάτωση δεν συρρικνώνεται. Επειδή η διαδικασία πυροσυσσωμάτωσης δεν συρρικνώνεται, καμία υπολειπόμενη τάση δεν θα προκαλέσει παραμόρφωση ή ρωγμές του προϊόντος και μπορούν να παρασκευαστούν εξαρτήματα με πολύπλοκα σχήματα και υψηλή ακρίβεια.
| 重结晶碳化硅物理特性 Φυσικές ιδιότητες του ανακρυσταλλωμένου καρβιδίου του πυριτίου | |
| 性质 / Περιουσία | 典型数值 / Τυπική τιμή |
| 使用温度/ Θερμοκρασία λειτουργίας (°C) | 1600°C (με οξυγόνο), 1700°C (μειωτικό περιβάλλον) |
| Ούτω含量/ Περιεχόμενο SiC | > 99,96% |
| 自由Si含量/ Δωρεάν περιεχόμενο Si | < 0,1% |
| 体积密度/Χύδην πυκνότητα | 2,60-2,70 g/cm3 |
| 气孔率/ Φαινόμενο πορώδες | < 16% |
| 抗压强度/ Αντοχή συμπίεσης | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Αντοχή σε ψυχρή κάμψη | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度Δύναμη καυτής κάμψης | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Θερμική διαστολή @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数/Θερμική αγωγιμότητα @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Συντελεστής ελαστικότητας | 240 GPa |
| 抗热震性/ Αντοχή σε θερμικό σοκ | Εξαιρετικά καλό |
Η ενέργεια ΕΕΚ είναι οπραγματικός κατασκευαστής προσαρμοσμένων προϊόντων γραφίτη και καρβιδίου του πυριτίου με επίστρωση CVD,μπορεί να παρέχειδιάφοροςεξατομικευμένα ανταλλακτικά για ημιαγωγούς και φωτοβολταϊκά βιομηχανία. OΗ τεχνική ομάδα σας προέρχεται από κορυφαία εγχώρια ερευνητικά ιδρύματα, μπορεί να παρέχει πιο επαγγελματικές λύσεις υλικούγια σένα.
Αναπτύσσουμε συνεχώς προηγμένες διαδικασίες για να παρέχουμε πιο προηγμένα υλικά,καιέχουν επεξεργαστεί μια αποκλειστική κατοχυρωμένη με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογία, η οποία μπορεί να κάνει τη συγκόλληση μεταξύ της επίστρωσης και του υποστρώματος πιο σφιχτή και λιγότερο επιρρεπή σε αποκόλληση.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Βασικές φυσικές ιδιότητες του CVD SiCεπένδυση | |
| 性质 / Περιουσία | 典型数值 / Τυπική τιμή |
| 晶体结构 / Κρυσταλλική Δομή | FCC β φάση多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Πυκνότητα | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Σκληρότητα | 2500 维氏硬度 (500 g φορτίο) |
| 晶粒大小 / Grain SiZe | 2~10μm |
| 纯度 / Χημική Καθαρότητα | 99,99995% |
| 热容 / Θερμοχωρητικότητα | 640 J·kg-1·Κ-1 |
| 升华温度 / Θερμοκρασία εξάχνωσης | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Καμπτική αντοχή | 415 MPa RT 4 σημείων |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt κάμψη, 1300℃ |
| 导热系数 / ΘέρμαμεγάλοΑγώγιμο | 300 W·m-1·Κ-1 |
| 热膨胀系数 / Θερμική διαστολή (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Σας καλωσορίζουμε θερμά να επισκεφτείτε το εργοστάσιό μας, ας συζητήσουμε περαιτέρω!
