SiC-belagt grafitsusceptor er en nøglekomponent, der bruges i forskellige halvlederfremstillingsprocesser. vi bruger vores patenterede teknologi til at fremstille susceptoren med ekstrem høj renhed, god belægningsensartethed og en fremragende levetid, samt høj kemisk resistens og termisk stabilitetsegenskaber.
Funktioner af vores produkter:
1. Høj temperatur oxidationsmodstand op til 1700 ℃.
2. Høj renhed og termisk ensartethed
3. Fremragende korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
4. Høj hårdhed, kompakt overflade, fine partikler.
5. Længere levetid og mere holdbar
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning | |
| 性质 / Ejendom | 典型数值 / Typisk Værdi |
| 晶体结构 / Krystalstruktur | FCC β-fase多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Tæthed | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhed | 2500 维氏硬度（500g belastning） |
| 晶粒大小 / Kornstørrelse | 2~10μm |
| 纯度 / Kemisk renhed | 99,99995 % |
| 热容 / Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimationstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Bøjestyrke | 415 MPa RT 4-punkt |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalLedningsevne | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk udvidelse (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy er den rigtige producent af skræddersyede grafit- og siliciumcarbidprodukter med forskellige belægninger som SiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig carbon-belægning, pyrolytisk carbon-belægning osv., kan levere forskellige tilpassede dele til halvleder- og fotovoltaisk industri.
Vores tekniske team kommer fra top indenlandske forskningsinstitutioner, kan levere mere professionelle materialeløsninger til dig.
Vi udvikler løbende avancerede processer for at levere mere avancerede materialer og har udarbejdet en eksklusiv patenteret teknologi, som kan gøre bindingen mellem belægningen og underlaget tættere og mindre tilbøjelig til at løsne sig.
Hjerteligt velkommen til at besøge vores fabrik, lad os have yderligere diskussion!
