SiC belægning grafit MOCVD Wafer bærere,Grafitsusceptorerfor SiC Epitaxy,
Kulstof leverer susceptorer, epitaksi susceptorer, Grafitsusceptorer,
CVD-SiC-belægning har karakteristika af ensartet struktur, kompakt materiale, høj temperaturbestandighed, oxidationsmodstand, høj renhed, syre- og alkaliresistens og organisk reagens med stabile fysiske og kemiske egenskaber.
Sammenlignet med grafitmaterialer med høj renhed begynder grafit at oxidere ved 400°C, hvilket vil forårsage tab af pulver på grund af oxidation, hvilket resulterer i miljøforurening til perifere enheder og vakuumkamre og øger urenhederne i miljøet med høj renhed.
SiC-belægning kan dog opretholde fysisk og kemisk stabilitet ved 1600 grader. Det er meget udbredt i moderne industri, især i halvlederindustrien.
Vores virksomhed leverer SiC-belægningsprocestjenester ved CVD-metode på overfladen af grafit, keramik og andre materialer, således at specielle gasser, der indeholder kulstof og silicium, reagerer ved høj temperatur for at opnå høj renhed SiC-molekyler, molekyler aflejret på overfladen af de belagte materialer, danner SIC-beskyttelseslag. Den dannede SIC er fast bundet til grafitbasen, hvilket giver grafitbasen specielle egenskaber, hvilket gør grafittens overflade kompakt, porøsitetsfri, højtemperaturbestandighed, korrosionsbestandighed og oxidationsbestandighed.
Anvendelse:
Hovedtræk:
1. Høj temperatur oxidationsmodstand:
oxidationsmodstanden er stadig meget god, når temperaturen er så høj som 1700 C.
2. Høj renhed: Fremstillet ved kemisk dampaflejring under højtemperaturkloreringsbetingelser.
3. Erosionsbestandighed: høj hårdhed, kompakt overflade, fine partikler.
4. Korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægninger:
SiC-CVD | ||
Tæthed | (g/cc)
| 3.21 |
Bøjningsstyrke | (Mpa)
| 470 |
Termisk ekspansion | (10-6/K) | 4
|
Termisk ledningsevne | (W/mK) | 300 |
Forsyningsevne:
10000 styk/stykker om måneden
Emballage og levering:
Emballage: Standard og stærk emballage
Polypose + æske + karton + palle
Havn:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Leveringstid:
Antal (stykker) | 1 – 1000 | >1000 |
Est. Tid (dage) | 15 | Skal forhandles |