MOCVD substratvarmer, Varmeelementer til MOCVD,
grafit varmelegeme, varmeapparat, MOCVD substratvarmer,
Langtidsholdbar SIC-belagt grafitvarmer til MOCVD K465i
Degrafit varmelegemekomponenter bruges i højtemperaturovnen med en temperatur på 2200 grader ved vakuummiljø og 3000 grader i det deoxiderede og indsatte gasmiljø.
Hovedtræk vedgrafit varmelegeme:
1. ensartethed af varmestruktur.
2. god elektrisk ledningsevne og høj elektrisk belastning.
3. korrosionsbestandighed.
4. uoxiderbarhed.
5. høj kemisk renhed.
6. høj mekanisk styrke.
Fordelen er energieffektiv, høj værdi og lav vedligeholdelse.
Vi kan producere antioxidations- og grafitdigel med lang levetid, grafitform og alle dele af grafitvarmeapparat.
De vigtigste parametre for grafitvarmeapparat:
Teknisk specifikation | VET-M3 |
Bulkdensitet (g/cm3) | ≥1,85 |
Askeindhold (PPM) | ≤500 |
Shore hårdhed | ≥45 |
Specifik modstand (μ.Ω.m) | ≤12 |
Bøjestyrke (Mpa) | ≥40 |
Kompressionsstyrke (Mpa) | ≥70 |
Maks. Kornstørrelse (μm) | ≤43 |
Termisk udvidelseskoefficient Mm/°C | ≤4,4*10-6 |
Grafitvarmer til elektrisk ovn har egenskaber som varmebestandighed, oxidationsmodstand, god elektrisk ledningsevne og bedre mekanisk intensitet. Vi kan bearbejde forskellige typer grafitvarmer i henhold til kundernes design.