Som bærer af normale siliciumwafers i produktionen af belægningsprocessengrafit bådhar mange bådwafere med et vist interval i strukturen, og der er et meget snævert mellemrum mellem to tilstødende bådwafers, og siliciumwafers er placeret på begge sider af den tomme dør.
Fordi grafit, grafitbådens materiale, har god ledningsevne og termisk ledningsevne, påføres en AC-spænding mellem to tilstødende både for at danne positive og negative elektroder. Når der er et vist lufttryk og gas i kammeret, opstår der en glødeudladning mellem de to både. Glødeudladningen kan nedbryde SiH4- og NH3-gas i rummet, danne Si- og N-ioner og kombineres for at danne SiNx-molekyler. Den afsættes på overfladen af siliciumwafer for at opnå formålet med belægning.
Som en bærer af solcelle antirefleksbelægning påvirker strukturen og størrelsen af grafitbåd direkte konverteringseffektiviteten og produktionseffektiviteten af siliciumwafer. Efter mange års teknisk forskning og udvikling har VET Energy nu avanceret produktionsudstyr, modne teknologidesignere og erfarne produktionspersonale, og materialerne er importerede råvarer. På nuværende tidspunkt har grafitbåden fremstillet af vores virksomhed fordelene ved høj effektivitet. Strukturen er enkel, og afstanden mellem grafitbåden er rimelig, hvilket gør belægningen af siliciumwaferen ensartet, forbedrer kvaliteten afsilicium wafer, og gør solenergikonverteringseffektiviteten høj. VET Energy har alle slags blækbåde, som markedet har brug for nu.
Højrenhed PECVD-grafitbåd til solpanel
Indlægstid: 08-04-2021