Som vist ovenfor, er en typisk
Første halvleg:
▪ Varmeelement (varmeflade):
placeret rundt om ovnrøret, normalt lavet af modstandstråde, der bruges til at opvarme indersiden af ovnrøret.
▪ Kvartsrør:
Kernen i en varm oxidationsovn, lavet af højrent kvarts, der kan modstå høje temperaturer og forbliver kemisk inert.
▪ Gasfoder:
Placeret på toppen eller siden af ovnrøret, bruges det til at transportere ilt eller andre gasser til indersiden af ovnrøret.
▪ SS-flange:
komponenter, der forbinder kvartsrør og gasledninger, hvilket sikrer tætheden og stabiliteten af forbindelsen.
▪ Gasforsyningsledninger:
Rør, der forbinder MFC'en til gasforsyningsporten til gastransmission.
▪ MFC (Mass Flow Controller):
En anordning, der styrer strømmen af gas inde i et kvartsrør for præcist at regulere den nødvendige mængde gas.
▪ Udluftning:
Bruges til at udlufte udstødningsgassen fra indersiden af ovnrøret til ydersiden af udstyret.
Nederste del:
▪ Siliciumwafers i holderen:
Siliciumwafers er anbragt i en speciel holder for at sikre ensartet varme under oxidation.
▪ Waferholder:
Bruges til at holde siliciumwaferen og sikre, at siliciumwaferen forbliver stabil under processen.
▪ Piedestal:
En struktur, der holder en siliciumwaferholder, normalt lavet af et højtemperaturbestandigt materiale.
▪ Elevator:
Bruges til at løfte waferholdere ind og ud af kvartsrør til automatisk i- og aflæsning af siliciumwafers.
▪ Wafer Transfer Robot:
placeret på siden af ovnrørsanordningen, bruges den til automatisk at fjerne siliciumwaferen fra kassen og placere den i ovnrøret, eller fjerne den efter forarbejdning.
▪ Kassetteopbevaringskarrusel:
Kassetteopbevaringskarrusel bruges til at opbevare en kasse, der indeholder siliciumwafers og kan drejes for robotadgang.
▪ Wafer Cassette:
wafer kassette bruges til at opbevare og overføre silicium wafers, der skal behandles.
Indlægstid: 22-apr-2024