Som vist ovenfor, er en typisk
Første halvleg:
Varmeelement (varmespiral): placeret rundt om ovnrøret, normalt lavet af modstandstråde, der bruges til at opvarme indersiden af ovnrøret.
Kvartsrør: Kernen i en varm oxidationsovn, lavet af kvarts med høj renhed, der kan modstå høje temperaturer og forbliver kemisk inert.
Gastilførsel: Placeret på toppen eller siden af ovnrøret, det bruges til at transportere ilt eller andre gasser til indersiden af ovnrøret.
SS Flange: komponenter, der forbinder kvartsrør og gasledninger, hvilket sikrer tæthed og stabilitet af forbindelsen.
Gasfødeledninger: Rør, der forbinder MFC'en til gasforsyningsporten til gastransmission.
MFC (Mass Flow Controller): En enhed, der styrer strømmen af gas inde i et kvartsrør for præcist at regulere den nødvendige mængde gas.
Ventilation: Bruges til at udlufte udstødningsgassen fra indersiden af ovnrøret til ydersiden af udstyret.
Nederste del
Siliciumwafers i holderen: Siliciumwafers er anbragt i en speciel holder for at sikre ensartet varme under oxidation.
Waferholder: Bruges til at holde siliciumwaferen og sikre, at siliciumwaferen forbliver stabil under processen.
Piedestal: En struktur, der holder en siliciumwaferholder, normalt lavet af et højtemperaturbestandigt materiale.
Elevator: Bruges til at løfte waferholdere ind og ud af kvartsrør til automatisk i- og aflæsning af siliciumwafers.
Wafer Transfer Robot: placeret på siden af ovnrørenheden, den bruges til automatisk at fjerne siliciumwaferen fra kassen og placere den i ovnrøret eller fjerne den efter forarbejdning.
Kassetteopbevaringskarrusel: Kassetteopbevaringskarrusel bruges til at opbevare en kasse, der indeholder siliciumwafers og kan drejes for robotadgang.
Wafer Cassette: wafer kassette bruges til at opbevare og overføre silicium wafers, der skal behandles.
Indlægstid: 22-apr-2024