I. Udforskning af procesparameter 1. TaCl5-C3H6-H2-Ar system 2. Depositionstemperatur: Ifølge den termodynamiske formel beregnes det, at når temperaturen er større end 1273K, er reaktionens Gibbs frie energi meget lav, og reaktionen er relativt fuldstændig. Den virkelige...
Læs mere