Højrenhedsgrafit PECVD-båd til solpanel
Beskrivelse
1). Vedtaget for at eliminere "farvelinser" -teknologien, for at sikre uden "farvelinser" under den langsigtede proces.
2). Lavet af SGL-importeret grafitmateriale med høj renhed, lavt urenhedsindhold og høj styrke.
3). Brug af 99,9% keramik til den keramiske samling med stærk korrosionsbestandig ydeevne og børstesikker.
4). Brug af præcisionsbehandlingsudstyret til at sikre nøjagtigheden af hver enkelt del.
Specifikation
Punkt | Type | Nummer waferholder |
PECVD grafitbåd — 156-serien | 156-13 grafitbåd | 144 |
156-19 grafitbåd | 216 | |
156-21 grafitbåd | 240 | |
156-23 grafitbåd | 308 | |
PECVD grafitbåd — 125-serien | 125-15 grafitbåd | 196 |
125-19 grafitbåd | 252 | |
125-21 grafitbåd | 280 |
Flere produkter