Grafitbærer til PECVD-proces

Kort beskrivelse:

EUD EnergiPECVD Graphite Boat for Solar Panel er en avanceret komponent designet specielt til produktion af højtydende solpaneler. Anvendt i PECVD-processer (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), sikrer denne grafitbåd optimal materialehåndtering og ensartet aflejring af tynde film på solceller. Konstrueret til præcision og holdbarhed giver den overlegen varmeledningsevne, høj korrosionsbestandighed og minimal forurening, hvilket er afgørende for produktionen af effektive solpaneler af høj kvalitet.

Send e-mail til os Download som PDF

Produktdetaljer

Produkt Tags

EUD EnergiPECVD proces grafitbærer er en højkvalitets forbrugsvare skræddersyet til PECVD (plasmaforstærket kemisk dampaflejring) proces. Denne grafitbærer er lavet af højrenhed, højdensitetsgrafitmateriale, med fremragende højtemperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, dimensionsstabilitet og andre egenskaber, kan give en stabil bærerplatform til PECVD-processen for at sikre ensartetheden og fladheden af tynd film aflejring.

Grafitbærere til PECVD-proces har følgende egenskaber:

▪ Høj renhed: ekstremt lavt indhold af urenheder, undgår kontaminering af filmen og sikrer filmkvalitet.

▪ Høj densitet: høj densitet, høj mekanisk styrke, i stand til at modstå høje temperaturer og højt tryk PECVD miljø.

▪ God dimensionsstabilitet: lille dimensionsændring ved høj temperatur, hvilket sikrer processtabilitet.

▪ Fremragende varmeledningsevne: overfører effektivt varme for at forhindre overophedning af wafer.

▪ Stærk korrosionsbestandighed: i stand til at modstå erosion fra forskellige ætsende gasser og plasma.

▪ Kundetilpasset service: grafitbærere i forskellige størrelser og former kan tilpasses efter kundens behov.

Grafitmateriale fra SGL:

Typisk parameter: R6510
Indeks	Test standard	Værdi	Enhed
Gennemsnitlig kornstørrelse	ISO 13320	10	μm
Bulkdensitet	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Åben porøsitet	DIN66133	10	%
Mellem porestørrelse	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitet	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell hårdhed HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifik elektrisk resistivitet	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Bøjningsstyrke	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Trykstyrke	DIN 51910	130	MPa
Youngs modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termisk udvidelse (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Termisk ledningsevne (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Den er specielt designet til højeffektiv solcellefremstilling, der understøtter G12-waferbehandling i stor størrelse. Optimeret bærerdesign øger gennemløbet markant, hvilket muliggør højere udbytte og lavere produktionsomkostninger.

Punkt	Type	Nummer waferholder
PEVCD Grephite-båd - 156-serien	156-13 grephitbåd	144
	156-19 grephitbåd	216
	156-21 grephitbåd	240
	156-23 grafitbåd	308
PEVCD Grephite-båd - 125-serien	125-15 grephitbåd	196
	125-19 grephitbåd	252
	125-21 grphitbåd	280