VET Energy graphite wafer boat er et forbrugsmateriale af høj kvalitet, der er skræddersyet til aflejringsprocesser i halvleder-, solcelle- og andre industrier. Fremstillet af højrenhed, højdensitetsgrafitmateriale, har dette produkt fremragende højtemperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, dimensionsstabilitet og andre egenskaber og kan give en stabil bærerplatform for aflejringsprocessen for at sikre ensartetheden og fladheden af tyndfilmsaflejring .
PECVD-grafitbåden fra VET Energy er fremstillet med isostatisk grafit af høj renhed, med porøsitet under 15% og overfladeruhed Ra≤1,6μm. Den overlegne dimensionsstabilitet og termiske ledningsevne sikrer ensartet filmaflejring og forbedret celleeffektivitet.
Grafitmateriale fra SGL:
| Typisk parameter: R6510 | |||
| Indeks | Test standard | Værdi | Enhed |
| Gennemsnitlig kornstørrelse | ISO 13320 | 10 | μm |
| Bulkdensitet | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Åben porøsitet | DIN66133 | 10 | % |
| Mellem porestørrelse | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabilitet | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell hårdhed HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Specifik elektrisk resistivitet | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bøjningsstyrke | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Trykstyrke | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngs modul | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Termisk udvidelse (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Termisk ledningsevne (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Den er specielt designet til højeffektiv solcellefremstilling, der understøtter G12-waferbehandling i stor størrelse. Optimeret bærerdesign øger gennemløbet markant, hvilket muliggør højere udbytte og lavere produktionsomkostninger.
| Punkt | Type | Nummer waferholder |
| PEVCD Grephite-båd - 156-serien | 156-13 grephitbåd | 144 |
| 156-19 grephitbåd | 216 | |
| 156-21 grephitbåd | 240 | |
| 156-23 grafitbåd | 308 | |
| PEVCD Grephite-båd - 125-serien | 125-15 grephitbåd | 196 |
| 125-19 grephitbåd | 252 | |
| 125-21 grphitbåd | 280 |
