EUD EnergiPECVD grafitbåd til solceller er et kerneforbrugsstof designet til PECVD-processen (plasma enhanced chemical vapor deposition) af solceller. Grafitbåden er lavet af isostatisk grafit med høj renhed med en porøsitet på mindre end 15% og en overfladeruhed på Ra≤1,6μm. Det har fremragende egenskaber såsom høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed og dimensionsstabilitet. Fremragende dimensionsstabilitet og termisk ledningsevne sikrer ensartet filmaflejring og forbedrer batterieffektiviteten. Det kan give en stabil bærer i et PECVD-miljø med høj temperatur og højt tryk for at sikre ensartet aflejring og høj kvalitet af solcellefilm.
Grafitmateriale fra SGL:
| Typisk parameter: R6510 | |||
| Indeks | Test standard | Værdi | Enhed |
| Gennemsnitlig kornstørrelse | ISO 13320 | 10 | μm |
| Bulkdensitet | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Åben porøsitet | DIN66133 | 10 | % |
| Mellem porestørrelse | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabilitet | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell hårdhed HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Specifik elektrisk resistivitet | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bøjningsstyrke | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Trykstyrke | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngs modul | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Termisk udvidelse (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Termisk ledningsevne (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Den er specielt designet til højeffektiv solcellefremstilling, der understøtter G12-waferbehandling i stor størrelse. Optimeret bærerdesign øger gennemløbet markant, hvilket muliggør højere udbytte og lavere produktionsomkostninger.
| Punkt | Type | Nummer waferholder |
| PEVCD Grephite-båd - 156-serien | 156-13 grephitbåd | 144 |
| 156-19 grephitbåd | 216 | |
| 156-21 grephitbåd | 240 | |
| 156-23 grafitbåd | 308 | |
| PEVCD Grephite-båd - 125-serien | 125-15 grephitbåd | 196 |
| 125-19 grephitbåd | 252 | |
| 125-21 grphitbåd | 280 |
