Nerovnoměrnost bombardování ionty
Schnoutleptje obvykle proces, který kombinuje fyzikální a chemické účinky, ve kterém je bombardování ionty důležitou fyzikální metodou leptání. Běhemproces leptáníúhel dopadu a distribuce energie iontů mohou být nerovnoměrné.
Pokud je úhel dopadu iontů v různých polohách na boční stěně různý, bude se lišit i leptací účinek iontů na boční stěnu. V oblastech s většími úhly dopadu iontů je leptací účinek iontů na boční stěnu silnější, což způsobí, že boční stěna v této oblasti bude více naleptána, což způsobí prohnutí bočnice. Kromě toho, nerovnoměrné rozložení energie iontů bude mít také podobné účinky. Ionty s vyšší energií mohou odstraňovat materiály efektivněji, což má za následek nekonzistencileptstupně bočnice v různých polohách, což zase způsobuje ohýbání boční stěny.
Vliv fotorezistu
Fotorezist hraje roli masky při suchém leptání, chrání místa, která není třeba leptat. Fotorezist je však také ovlivněn plazmovým bombardováním a chemickými reakcemi během procesu leptání a jeho výkon se může změnit.
Pokud je tloušťka fotorezistu nerovnoměrná, rychlost spotřeby během procesu leptání je nekonzistentní nebo je adheze mezi fotorezistem a substrátem na různých místech různá, může to vést k nerovnoměrné ochraně bočních stěn během procesu leptání. Například oblasti s tenčím fotorezistem nebo slabší adhezí mohou podkladový materiál snadněji leptat, což způsobí, že se boční stěny v těchto místech ohýbají.
Rozdíly ve vlastnostech materiálu substrátu
Samotný leptaný substrátový materiál může mít různé vlastnosti, jako jsou různé orientace krystalů a koncentrace dotování v různých oblastech. Tyto rozdíly ovlivní rychlost leptání a selektivitu leptání.
Například v krystalickém křemíku je uspořádání atomů křemíku v různých krystalových orientacích odlišné a jejich reaktivita a rychlost leptání s leptacím plynem budou také odlišné. Během procesu leptání způsobí různé rychlosti leptání způsobené rozdíly ve vlastnostech materiálu hloubku leptání bočních stěn v různých místech nekonzistentní, což nakonec vede k ohýbání boční stěny.
Faktory související s vybavením
Výkon a stav leptacího zařízení mají také důležitý vliv na výsledky leptání. Například problémy, jako je nerovnoměrná distribuce plazmatu v reakční komoře a nerovnoměrné opotřebení elektrody, mohou vést k nerovnoměrnému rozložení parametrů, jako je hustota iontů a energie na povrchu destičky během leptání.
Kromě toho může nerovnoměrná regulace teploty zařízení a mírné kolísání průtoku plynu také ovlivnit rovnoměrnost leptání, což vede k ohýbání bočních stěn.
Čas odeslání: prosinec-03-2024