Jak je uvedeno výše, je typický
První polovina:
Topné těleso (topná spirála) : umístěné kolem trubky pece, obvykle vyrobené z odporových drátů, používané k ohřevu vnitřku trubky pece.
Křemenná trubka: Jádro horké oxidační pece, vyrobené z vysoce čistého křemene, který odolává vysokým teplotám a zůstává chemicky inertní.
Přívod plynu: Nachází se v horní nebo boční části trubky pece a používá se k dopravě kyslíku nebo jiných plynů do vnitřku trubky pece.
Příruba SS: komponenty, které spojují křemenné trubky a plynová vedení, zajišťující těsnost a stabilitu spoje.
Vedení přívodu plynu: Potrubí, které spojuje MFC s portem dodávky plynu pro přenos plynu.
MFC (Mass Flow Controller) : Zařízení, které řídí průtok plynu uvnitř křemenné trubice a přesně reguluje požadované množství plynu.
Větrací otvor: Používá se k odvětrávání výfukových plynů z vnitřku trubky pece do vnější části zařízení.
Spodní část
Křemíkové destičky v držáku: Silikonové destičky jsou umístěny ve speciálním držáku, aby bylo zajištěno rovnoměrné teplo během oxidace.
Držák plátku: Používá se k držení křemíkového plátku a zajišťuje, že křemíkový plátek zůstane během procesu stabilní.
Podstavec: Konstrukce, která drží držák křemíkového plátku, obvykle vyrobený z materiálu odolného vůči vysokým teplotám.
Výtah: Používá se ke zvedání držáků destiček do az křemenných trubic pro automatické vkládání a vyjímání křemíkových destiček.
Robot pro přenos plátků: umístěný na straně zařízení trubice pece, používá se k automatickému vyjmutí křemíkového plátku z krabice a jeho umístění do trubky pece nebo jeho odstranění po zpracování.
Kazetový skladovací karusel: Kazetový skladovací karusel se používá k uložení krabice obsahující křemíkové plátky a lze jej otáčet pro přístup robota.
Wafer Cassette: wafer kazeta se používá k ukládání a přenášení křemíkových waferů, které mají být zpracovány.
Čas odeslání: 22. dubna 2024