Podrobně je vysvětlena vnitřní struktura trubkového zařízení pece

Jak je uvedeno výše, je typický

První polovina:

▪ Topné těleso (topná spirála):

umístěné kolem trubky pece, obvykle vyrobené z odporových drátů, používané k ohřevu vnitřku trubky pece.

▪ Quartzová trubice:

Jádro horké oxidační pece vyrobené z vysoce čistého křemene, který odolává vysokým teplotám a zůstává chemicky inertní.

▪ Přívod plynu:

Nachází se na horní nebo boční straně trubky pece a používá se k přepravě kyslíku nebo jiných plynů do vnitřku trubky pece.

▪ Příruba SS:

komponenty, které spojují křemenné trubky a plynová vedení, zajišťující těsnost a stabilitu spoje.

▪ Vedení přívodu plynu:

Potrubí, které spojuje MFC s portem dodávky plynu pro přenos plynu.

▪ MFC (Mass Flow Controller) :

Zařízení, které řídí průtok plynu uvnitř křemenné trubice a přesně reguluje požadované množství plynu.

▪ Větrání:

Používá se k odvětrávání výfukových plynů z vnitřku trubky pece ven ze zařízení.

Spodní část:

▪ Silikonové destičky v držáku:

Křemíkové plátky jsou umístěny ve speciálním držáku, který zajišťuje rovnoměrné teplo během oxidace.

▪ Držák na oplatky:

Používá se k držení křemíkového plátku a zajišťuje, že křemíkový plátek zůstane během procesu stabilní.

▪ Podstavec:

Konstrukce, která drží držák křemíkového plátku, obvykle vyrobený z materiálu odolného vůči vysokým teplotám.

▪ Výtah:

Používá se ke zvedání držáků destiček do az křemenných trubic pro automatické vkládání a vyjímání křemíkových destiček.

▪ Robot pro přenos plátků:

Nachází se na boku trubkového zařízení pece, používá se k automatickému vyjmutí křemíkového plátku z krabice a jeho umístění do trubice pece nebo k vyjmutí po zpracování.

▪ Kazetový skladovací karusel:

Kazetový skladovací karusel se používá k uložení krabice obsahující silikonové destičky a lze jej otáčet pro přístup robota.

▪ Kazeta na oplatky:

wafer kazeta se používá k ukládání a přenášení křemíkových waferů, které mají být zpracovány.