JAK VYROBIT KŘEMÍKOVÝ PLÁNEK
A oplatkaje plátek křemíku o tloušťce zhruba 1 milimetr, který má díky technicky velmi náročným postupům extrémně rovný povrch. Následné použití určuje, jaký postup pěstování krystalů by měl být použit. Při Czochralského procesu se například roztaví polykrystalický křemík a do roztaveného křemíku se ponoří zárodečný krystal tenký jako tužka. Zárodečný krystal se pak otáčí a pomalu vytahuje nahoru. Výsledkem je velmi těžký kolos, monokrystal. Je možné zvolit elektrické charakteristiky monokrystalu přidáním malých jednotek vysoce čistých příměsí. Krystaly jsou dopovány dle specifikace zákazníka a následně leštěny a krájeny na plátky. Po různých dodatečných výrobních krocích obdrží zákazník své specifikované oplatky ve speciálním balení, které zákazníkovi umožňuje okamžitě použít oplatku ve své výrobní lince.
CZOCHRALSKI PROCES
Dnes se velká část křemíkových monokrystalů pěstuje podle Czochralského procesu, který zahrnuje roztavení polykrystalického vysoce čistého křemíku v hyperčistém křemenném kelímku a přidání dopantu (obvykle B, P, As, Sb). Do roztaveného křemíku se ponoří tenký monokrystalický očkovací krystal. Z tohoto tenkého krystalu se pak vyvine velký CZ krystal. Přesná regulace teploty a průtoku roztaveného křemíku, rotace krystalu a kelímku, jakož i rychlosti tažení krystalu vede k extrémně kvalitnímu monokrystalickému křemíkovému ingotu.
METODA PLOVOUCÍ ZÓNY
Monokrystaly vyrobené metodou plovoucí zóny jsou ideální pro použití ve výkonových polovodičových součástkách, jako jsou IGBT. Válcový polykrystalický křemíkový ingot je namontován na indukční cívce. Radiofrekvenční elektromagnetické pole pomáhá tavit křemík ze spodní části tyče. Elektromagnetické pole reguluje tok křemíku malým otvorem v indukční cívce a na monokrystal, který leží níže (metoda plovoucí zóny). Dopování, obvykle B nebo P, se dosahuje přidáním plynných látek.
Čas odeslání: 07.06.2021