Carrier MOCVD Grafite cù Revestimentu CVD SiC

Breve descrizzione:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor hè un pruduttu d'altu rendiment cuncepitu per furnisce un rendimentu consistente è affidabile per un periudu allargatu. Hà una super bona resistenza à u calore è uniformità termica, alta purezza, resistenza à l'erosione, facendu a suluzione perfetta per l'applicazioni di trasfurmazioni di wafer.

 


Detail di u produttu

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U susceptor di grafite rivestitu di SiC hè un cumpunente chjave utilizatu in diversi prucessi di fabricazione di semiconduttori. usemu a nostra tecnulugia patentata per fà u suscettore cù una purezza estremamente alta, una bona uniformità di revestimentu è una vita di serviziu eccellente, è dinò una alta resistenza chimica è proprietà di stabilità termica.

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Caratteristiche di i nostri prudutti:

1. Resistenza à l'ossidazione alta temperatura finu à 1700 ℃.
2. Purità alta è uniformità termale
3. Eccellente resistenza à a corrosione: acidu, alkali, sali è reagenti organici.

4. Alta durezza, superficia compacta, particelle fini.
5. A vita di serviziu più longa è più durable

CVD SiC薄膜基本物理性能

Proprietà fisiche basiche di CVD SiCrivestimentu

性质 / Pruprietà

典型数值 / Valore tipicu

晶体结构 / Struttura di Cristalli

FCC phase β多晶,主要为(111)取向

密度 / Densità

3,21 g/cm³

硬度 / Durezza

2500 维氏硬度(500g di carica)

晶粒大小 / Grain Size

2 ~ 10 μm

纯度 / Purezza chimica

99,99995%

热容 / Capacità di calore

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperature di sublimazione

2700 ℃

抗弯强度 / Forza Flexural

415 MPa RT à 4 punti

杨氏模量 / Modulu di Ghjuventù

430 Gpa 4pt curva, 1300 ℃

导热系数 / ThermalConductivity

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Dilatazione termica (CTE)

4,5 × 10-6K-1

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VET Energy hè u veru fabricatore di prudutti persunalizati di grafite è carburu di siliciu cù diversi rivestimenti cum'è rivestimentu SiC, rivestimentu TaC, rivestimentu di carbonu vetru, rivestimentu di carbone piroliticu, etc., pò furnisce diverse parti persunalizate per l'industria semiconductora è fotovoltaica.

A nostra squadra tecnica vene da i migliori istituzioni di ricerca naziunali, ponu furnisce più soluzioni di materiale prufessiunale per voi.

Sviluppemu continuamente prucessi avanzati per furnisce materiali più avanzati, è avemu travagliatu una tecnulugia patentata esclusiva, chì pò fà u ligame trà u revestimentu è u sustrato più strettu è menu propensu à u distaccu.

Un cordiale benvenutu per visità a nostra fabbrica, avemu più discussione!

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