Barca di wafer di grafite per a deposizione

Descrizione breve:

A barca di wafer di grafite VET Energy hè un cunsumu di alta qualità adattatu per i prucessi di deposizione in l'industria di semiconduttori, fotovoltaici è altri. Fattu di materiale di grafite d'alta purezza è alta densità, stu pruduttu hà una eccellente resistenza à a temperatura alta, resistenza à a corrosione, stabilità dimensionale è altre caratteristiche, è pò furnisce una piattaforma di trasportatore stabile per u prucessu di deposizione per assicurà l'uniformità è a piattezza di a deposizione di film sottile. .

Mandate un email à noi Scaricate cum'è PDF

Detail di u produttu

Tags di u produttu

A barca in grafite PECVD da VET Energy hè fabricata cù grafite isostaticu di alta purezza, cù porosità sottu 15% è rugosità di a superficia Ra≤1.6μm. A stabilità dimensionale superiore è a conduttività termica assicura una deposizione uniforme di film è una efficienza cellulare rinfurzata.

Materiale di grafite da SGL:

Parametru tipicu: R6510
Index	Test standard	Valore	Unità
Grandezza media di granu	ISO 13320	10	μm
Densità di massa	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porosità aperta	DIN 66133	10	%
Dimensione di poru mediu	DIN 66133	1.8	μm
Permeabilità	DIN 51935	0,06	cm²/s
Durezza Rockwell HR5/100	DIN IEC 60413/303	90	HR
Resistività elettrica specifica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Forza Flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Forza cumpressione	DIN 51910	130	MPa
Modulu di Young	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Dilatazione termica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conduttività termica (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Hè specificamente cuncepitu per a fabricazione di celle solari d'alta efficienza, chì sustene a trasfurmazioni di wafer di grande dimensione G12. U disignu di u trasportatore ottimizatu aumenta significativamente a produzzione, chì permette tassi di rendimentu più altu è costi di produzzione più bassi.

Articulu	Tipu	U trasportatore di wafer numeru
Barca PEVCD Grephite - A serie 156	156-13 barca di grephite	144
	156-19 barca di grephite	216
	156-21 barca di grephite	240
	156-23 barca di grafite	308
Barca PEVCD Grephite - A serie 125	125-15 barca di grephite	196
	125-19 barca di grephite	252
	Barca 125-21 grphite	280