Carrier di grafite per u prucessu PECVD

Grafite Carrier per u prucessu PECVD Featured Image

Descrizione breve:

Energia VETPECVD Graphite Boat for Solar Panel hè un cumpunente avanzatu cuncepitu specificamente per a produzzione di pannelli solari d'altu rendiment. Aduprata in i prucessi di Deposizione Chemical Vapore di Plasma Enhanced (PECVD), sta barca di grafite assicura una manipulazione ottimale di u materiale è una deposizione uniforme di film sottili nantu à e cellule solari. Ingegneria per a precisione è a durabilità, furnisce una conducibilità termale superiore, una alta resistenza à a corrosione è una contaminazione minima, chì sò essenziali per a produzzione di pannelli solari efficienti di alta qualità.

Mandate un email à noi Scaricate cum'è PDF

Detail di u produttu

Tags di u produttu

Energia VETU trasportatore di grafite di prucessu PECVD hè un cunsumu di alta qualità adattatu per u prucessu PECVD (depositu di vapore chimicu rinforzatu di plasma). Stu traspurtadore di grafite hè fattu di materiale di grafite d'alta purezza, d'alta densità, cù una eccellente resistenza à a temperatura alta, resistenza à a corrosione, stabilità dimensionale è altre caratteristiche, ponu furnisce una piattaforma di trasportatore stabile per u prucessu PECVD, per assicurà l'uniformità è a piattezza di a film fina. deposizione.

I trasportatori di grafite per u prucessu PECVD anu e seguenti caratteristiche:

▪ Purità alta: cuntenutu di impurità estremamente bassu, evitendu a contaminazione di a film è assicurendu a qualità di film.

▪ Alta densità: alta densità, alta forza meccanica, capaci di resistà a temperatura alta è l'ambiente PECVD d'alta pressione.

▪ Bona stabilità dimensionale: picculu cambiamentu dimensionale à alta temperatura, assicurendu a stabilità di u prucessu.

▪ Eccellente conductività termale: trasferisce in modu efficace u calore per prevene u surriscaldamentu di wafer.

▪ Forte resistenza à a corrosione: capace di resiste à l'erosione da diversi gasi corrosivi è plasma.

▪ Serviziu persunalizatu: i trasportatori di grafite di diverse dimensioni è forme ponu esse persunalizati secondu i bisogni di i clienti.

Materiale di grafite da SGL:

Parametru tipicu: R6510
Index	Test standard	Valore	Unità
Grandezza media di granu	ISO 13320	10	μm
Densità di massa	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porosità aperta	DIN 66133	10	%
Dimensione di poru mediu	DIN 66133	1.8	μm
Permeabilità	DIN 51935	0,06	cm²/s
Durezza Rockwell HR5/100	DIN IEC 60413/303	90	HR
Resistività elettrica specifica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Forza Flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Forza cumpressione	DIN 51910	130	MPa
Modulu di Young	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Dilatazione termica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conduttività termica (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Hè specificamente cuncepitu per a fabricazione di celle solari d'alta efficienza, chì sustene a trasfurmazioni di wafer di grande dimensione G12. U disignu di u trasportatore ottimizatu aumenta significativamente a produzzione, chì permette tassi di rendimentu più altu è costi di produzzione più bassi.

Articulu	Tipu	U trasportatore di wafer numeru
Barca PEVCD Grephite - A serie 156	156-13 barca di grephite	144
	156-19 barca di grephite	216
	156-21 barca di grephite	240
	156-23 barca di grafite	308
Barca PEVCD Grephite - A serie 125	125-15 barca di grephite	196
	125-19 barca di grephite	252
	Barca 125-21 grphite	280