Bačvasti prijemnik za epitaksiju tečne faze LPE
EPI (epitaksija)je kritičan proces u proizvodnji naprednih poluprovodnika. Uključuje taloženje tankih slojeva materijala na podlogu kako bi se stvorile složene strukture uređaja. SiC obloženi grafitni bačvasti prijemnici za EPI se obično koriste kao prijemnici u EPI reaktorima zbog svoje odlične toplotne provodljivosti i otpornosti na visoke temperature. WithCVD-SiC premaz, postaje otporniji na kontaminaciju, eroziju i termički šok. Ovo rezultira dužim vijekom trajanja susceptora i poboljšanom kvalitetom filma.
Prednosti našeg bačvastog susceptora za epitaksiju tečne faze LPE:
Smanjena kontaminacija:Inertna priroda SiC-a sprečava da se nečistoće prianjaju na površinu prijemnika, smanjujući rizik od kontaminacije nanesenih filmova.
Povećana otpornost na eroziju:SiC je znatno otporniji na eroziju od konvencionalnog grafita, što dovodi do dužeg životnog vijeka susceptora.
Poboljšana termička stabilnost:SiC ima odličnu toplotnu provodljivost i može izdržati visoke temperature bez značajnih izobličenja.
Poboljšan kvalitet filma:Poboljšana termička stabilnost i smanjena kontaminacija rezultiraju kvalitetnijim nanesenim filmovima s poboljšanom ujednačenošću i kontrolom debljine.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd je visokotehnološko poduzeće koje se fokusira na proizvodnju i prodaju vrhunskih naprednih materijala, materijala i tehnologije uključujući grafit, silicijum karbid, keramiku, površinsku obradu kao što je SiC premaz, TaC premaz, stakleni ugljik premazivanje, pirolitička karbonska prevlaka, itd., Ovi proizvodi se široko koriste u fotonaponskoj, poluvodičkoj, novoj energiji, metalurgiji itd.
Naš tehnički tim dolazi iz vrhunskih domaćih istraživačkih institucija i razvio je više patentiranih tehnologija kako bi osigurao performanse i kvalitet proizvoda, a kupcima može pružiti i profesionalna rješenja materijala.
Srdačno Vas pozdravljamo da posjetite našu laboratoriju i postrojenje radi tehničke rasprave i saradnje!