Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor
Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptorje posebno dizajniran uređaj za podršku i grijanje koji se koristi za držanje i zagrijavanje poluvodičkih supstrata tokom proizvodnih procesa kao što su procesi taloženja ili epitaksije.
Njegova struktura uključuje tipično cilindrični ili blago bačvasti oblik, površina ima više džepova ili platformi za postavljanje vafla, može biti puna ili šuplja, ovisno o načinu grijanja.
Glavne funkcije epitaksijalnog bačvastog susceptora:
- Nosač podloge: sigurno drži više poluvodičkih pločica;
-Izvor toplote: obezbeđuje visoke temperature potrebne za rast kroz grejanje;
-Ujednačenost temperature: osigurava ravnomjerno zagrijavanje podloge;
-Rotacija: obično se rotira tokom rasta kako bi se poboljšala temperatura i ujednačenost distribucije gasa.
Princip rada Epi grafitnog burel suceptora:
- U epitaksijalnom reaktoru, bačvasti prijemnik se zagreva na potrebnu temperaturu (obično 1000℃-1200℃ za silicijumsku epitaksiju);
-Prihvat bačve se rotira kako bi se osigurala ujednačena raspodjela temperature i protoka plina;
-Reakcioni gasovi se razlažu na visokim temperaturama, formirajući epitaksijalne slojeve na površini supstrata.
Prijave:
-Primarno se koristi za epitaksijalni rast silicijuma
-Također primjenjiv za epitaksiju drugih poluvodičkih materijala kao što su GaAs, InP, itd.
VET Energy koristi grafit visoke čistoće sa CVD-SiC premazom za poboljšanje hemijske stabilnosti:
Prednosti VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor:
- Visoka temperaturna stabilnost;
-Dobra termička uniformnost;
-Može da obrađuje više supstrata istovremeno, poboljšavajući efikasnost proizvodnje;
- Hemijski inertan, održava okruženje za rast visoke čistoće.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd je visokotehnološko poduzeće koje se fokusira na proizvodnju i prodaju vrhunskih naprednih materijala, materijala i tehnologije uključujući grafit, silicijum karbid, keramiku, površinsku obradu kao što je SiC premaz, TaC premaz, stakleni ugljik premazivanje, pirolitička karbonska prevlaka, itd., Ovi proizvodi se široko koriste u fotonaponskoj, poluvodičkoj, novoj energiji, metalurgiji itd.
Naš tehnički tim dolazi iz vrhunskih domaćih istraživačkih institucija i razvio je više patentiranih tehnologija kako bi osigurao performanse i kvalitet proizvoda, a kupcima može pružiti i profesionalna rješenja materijala.
Srdačno Vas pozdravljamo da posjetite našu laboratoriju i postrojenje radi tehničke rasprave i saradnje!
