Сусцептор с TaC покритие за епитаксиално оборудване

Кратко описание:

VET предоставя специализирани покрития от танталов карбид (TaC) за различни компоненти и носители. Водещият процес на покритие на VET позволява покритията от танталов карбид (TaC) да постигнат висока чистота, висока температурна стабилност и висока химическа толерантност, подобрявайки качеството на продукта на SIC/GAN кристалите и EPI слоевете и удължавайки живота на ключови компоненти на реактора. Използването на покритие от танталов карбид TaC е за решаване на проблема с ръбовете и подобряване на качеството на растежа на кристалите, а VET има пробив в технологията за покритие от танталов карбид (CVD), достигайки международно напреднало ниво.


Подробности за продукта

Продуктови етикети

TaC покритиесубстратът е тънък филм, направен оттанталов карбидматериал, който се нанася върху повърхността на субстрата на епитаксиално оборудване.TaC покритиеима много отлични свойства, което го прави идеален избор.

TaC покритието е вид покритие от танталов карбид (TaC), получено чрез технология за физическо отлагане на пари, то има следните характеристики:

1. Висока твърдост: Твърдостта на TaC покритието е висока, обикновено може да достигне 2500-3000HV, е отлично твърдо покритие.

2. Устойчивост на износване: TaC покритието е много устойчиво на износване, което може ефективно да намали износването и повредата на механичните части по време на употреба.

3. Добра устойчивост на висока температура: TaC покритието може също да поддържа отличната си производителност при висока температура.

4. Добра химическа стабилност: TaC покритието има добра химическа стабилност и може да устои на много химични реакции, като киселини и основи.

6 (3)
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Физически свойства на TaC покритие

密度/ Плътност

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Специфична излъчвателна способност

0,3

热膨胀系数 / Коефициент на термично разширение

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Твърдост (HK)

2000 HK

电阻 / Съпротива

1×10-5 Ом*см

热稳定性 / Термична стабилност

<2500 ℃

石墨尺寸变化 / Промени в размера на графита

-10~-20um

涂层厚度 / Дебелина на покритието

≥20um типична стойност (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd е високотехнологично предприятие, фокусирано върху производството и продажбите на съвременни материали от висок клас, материалите и технологиите, обхващащи графит, силициев карбид, керамика, повърхностна обработка и т.н. Продуктите се използват широко във фотоволтаиците, полупроводниците, новата енергия, металургията и др.

Нашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции, може да предостави по-професионални материални решения за вас.

Горещо ви приветстваме да посетите нашата фабрика, нека да обсъдим допълнително!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Предишен:
  • следващ:

  • Онлайн чат WhatsApp!