Рекристализирана кристална лодка от силициев карбид за полупроводниковата индустрия

Кратко описание:

VET Energy Recrystallized Silicon Carbide Crystal Boat е продукт с висока производителност, предназначен да осигури постоянна и надеждна работа за продължителен период от време.Има супер добра устойчивост на топлина и топлинна еднородност, висока чистота, устойчивост на ерозия, което го прави идеалното решение за приложения за обработка на вафли.


Подробности за продукта

Продуктови етикети

Свойства на рекристализиран силициев карбид

Прекристализираният силициев карбид (R-SiC) е високоефективен материал с твърдост, втора след диаманта, който се образува при висока температура над 2000 ℃.Той запазва много отлични свойства на SiC, като устойчивост при висока температура, силна устойчивост на корозия, отлична устойчивост на окисление, добра устойчивост на термичен удар и т.н.

● Отлични механични свойства.Прекристализираният силициев карбид има по-висока якост и твърдост от въглеродните влакна, висока устойчивост на удар, може да играе добра производителност при екстремни температурни среди, може да играе по-добра противотежестна производителност в различни ситуации.В допълнение, той също има добра гъвкавост и не се поврежда лесно от разтягане и огъване, което значително подобрява работата му.

● Висока устойчивост на корозия.Прекристализираният силициев карбид има висока устойчивост на корозия към различни среди, може да предотврати ерозията на различни корозивни среди, може да поддържа механичните си свойства за дълго време, има силна адхезия, така че да има по-дълъг експлоатационен живот.В допълнение, той също има добра термична стабилност, може да се адаптира към определен диапазон от температурни промени, да подобри ефекта от приложението си.

● При синтероването не се свива.Тъй като процесът на синтероване не се свива, няма остатъчно напрежение, което да причини деформация или напукване на продукта и могат да бъдат подготвени части със сложни форми и висока точност.

IMG_9497
IMG_9503

重结晶碳化硅物理特性

Физични свойства на рекристализирания силициев карбид

性质 / Имот

典型数值 / Типична стойност

使用温度/ Работна температура (°C)

1600°C (с кислород), 1700°C (редуцираща среда)

SiC含量/ съдържание на SiC

> 99,96%

自由Si含量/ Безплатно Si съдържание

< 0,1%

体积密度/Обемна плътност

2,60-2,70 g/cm3

气孔率/ Привидна порьозност

< 16%

抗压强度/ Сила на натиск

> 600MPa

常温抗弯强度/Якост на студено огъване

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度Якост на горещо огъване

90-100 MPa (1400°C)

热膨胀系数/ Термично разширение @1500°C

4,70 10-6/°C

导热系数/Топлопроводимост @1200°C

23W/m•K

杨氏模量/ Модул на еластичност

240 GPa

抗热震性/ Устойчивост на термичен удар

Изключително добър

VET Energy е истинският производител на персонализирани продукти от графит и силициев карбид с CVD покритие, може да достави различни персонализирани части за полупроводниковата и фотоволтаичната индустрия.Нашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции, може да предостави по-професионални материални решения за вас.

Ние непрекъснато разработваме усъвършенствани процеси, за да осигурим по-усъвършенствани материали и разработихме изключителна патентована технология, която може да направи връзката между покритието и субстрата по-плътна и по-малко податлива на отделяне.

Горещо ви приветстваме да посетите нашата фабрика, нека да обсъдим допълнително!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Предишен:
  • Следващия:

  • Онлайн чат WhatsApp!