Каква е функцията на PECVD графитната лодка?

Като носител на нормални силициеви пластини в процеса на производство на покритие,графитна лодкаима много лодкови пластини с определен интервал в структурата и има много тясно пространство между две съседни лодкови пластини, а силиконовите пластини са поставени от двете страни на празната врата.

Тъй като графитът, материалът на графитната лодка, има добра проводимост и топлопроводимост, между две съседни лодки се прилага променливо напрежение, за да се образуват положителни и отрицателни електроди. Когато в камерата има определено въздушно налягане и газ, между двете лодки възниква тлеещ разряд. Тлеещият разряд може да разложи SiH4 и NH3 газ в пространството, да образува Si и N йони и да се комбинира, за да образува SiNx молекули. Той се отлага върху повърхността на силиконова пластина, за да се постигне целта на покритието.

Като носител на антиотражателно покритие на слънчеви клетки, структурата и размерът на графитната лодка пряко влияят върху ефективността на преобразуване и ефективността на производството на силиконова пластина. След години на технически изследвания и развитие, нашата компания вече разполага с модерно производствено оборудване, зрели технологични дизайнери и опитен производствен персонал, а материалите са вносни суровини. Понастоящем графитната лодка, произведена от нашата компания, има предимствата на висока ефективност Структурата е проста и разстоянието между графитната лодка е разумно, което прави покритието на силиконовата вафла равномерно, подобрява качеството на силиконовата вафла и прави висока ефективност на преобразуване на слънчевата енергия. Компанията Shijin разполага с всички видове мастилени лодки, от които пазарът се нуждае сега

21


Време на публикуване: 8 април 2021 г
Онлайн чат WhatsApp!