Вътрешната структура на тръбното оборудване на пещта е обяснена подробно

Както е показано по-горе, е типично

Първото полувреме:

▪ Нагревателен елемент (нагревателна бобина):

разположени около тръбата на пещта, обикновено направени от съпротивителни проводници, използвани за нагряване на вътрешността на тръбата на пещта.

▪ Кварцова тръба:

Сърцевината на гореща окислителна пещ, изработена от кварц с висока чистота, който може да издържи на високи температури и да остане химически инертен.

▪ Подаване на газ:

Разположен в горната или страничната част на тръбата на пещта, той се използва за транспортиране на кислород или други газове към вътрешността на тръбата на пещта.

▪ SS фланец:

компоненти, които свързват кварцови тръби и газопроводи, осигуряващи плътност и стабилност на връзката.

▪ Газопроводи:

Тръби, които свързват MFC с порта за подаване на газ за пренос на газ.

▪ MFC (контролер на масовия поток):

Устройство, което контролира потока газ вътре в кварцова тръба, за да регулира прецизно необходимото количество газ.

▪ Вентилационен отвор:

Използва се за вентилиране на изгорелите газове от вътрешността на тръбата на пещта към външната страна на оборудването.

Долна част:

▪ Силиконови пластини в държач:

Силиконовите пластини са поставени в специален държач, за да се осигури равномерна топлина по време на окисляване.

▪ Държач за вафли:

Използва се за задържане на силиконовата пластина и гарантира, че силиконовата пластина остава стабилна по време на процеса.

▪ Пиедестал:

Структура, която държи държач за силиконова пластина, обикновено изработена от материал, устойчив на висока температура.

▪ Асансьор:

Използва се за повдигане на държачи за вафли във и от кварцови тръби за автоматично зареждане и разтоварване на силициеви вафли.

▪ Робот за прехвърляне на вафли:

разположен отстрани на тръбното устройство на пещта, той се използва за автоматично изваждане на силиконовата пластина от кутията и поставянето й в тръбата на пещта или за отстраняването й след обработка.