Както е показано по-горе, е типично
Първо полувреме:
Нагревателен елемент (нагревателна намотка): разположен около тръбата на пещта, обикновено направен от съпротивителни проводници, използван за нагряване на вътрешността на тръбата на пещта.
Кварцова тръба: Сърцевината на гореща окислителна пещ, изработена от кварц с висока чистота, който може да издържи на високи температури и да остане химически инертен.
Подаване на газ: Разположен в горната или страничната част на тръбата на пещта, той се използва за транспортиране на кислород или други газове към вътрешността на тръбата на пещта.
SS фланец: компоненти, които свързват кварцови тръби и газопроводи, осигурявайки плътността и стабилността на връзката.
Тръбопроводи за подаване на газ: Тръби, които свързват MFC с порта за подаване на газ за пренос на газ.
MFC (контролер на масовия поток): Устройство, което контролира потока газ вътре в кварцова тръба, за да регулира прецизно необходимото количество газ.
Вентилационен отвор: Използва се за вентилиране на отработения газ от вътрешността на тръбата на пещта към външната страна на оборудването.
Долна част
Силициеви пластини в държач: Силиконовите пластини се поставят в специален държач, за да се осигури равномерна топлина по време на окисляване.
Държач за вафли: Използва се за задържане на силиконовата пластина и гарантира, че силиконовата пластина остава стабилна по време на процеса.
Пиедестал: Конструкция, която държи държач за силиконова пластина, обикновено изработена от материал, устойчив на висока температура.
Елеватор: Използва се за повдигане на държачи за вафли във и от кварцови тръби за автоматично зареждане и разтоварване на силициеви вафли.
Робот за прехвърляне на вафли: разположен отстрани на устройството на тръбата на пещта, той се използва за автоматично изваждане на силиконовата пластина от кутията и поставянето й в тръбата на пещта или за отстраняването й след обработка.
Въртележка за съхранение на касети: Въртележка за съхранение на касети се използва за съхранение на кутия, съдържаща силиконови пластини, и може да се върти за достъп на робота.
Касета за вафли: касетата за вафли се използва за съхранение и прехвърляне на силициевите вафли за обработка.
Време на публикуване: 22 април 2024 г