Основните функции налодка от силициев карбидопора и опора за кварцова лодка са еднакви.Лодка от силициев карбидподдръжката има отлична производителност, но висока цена. Той представлява алтернативна връзка с опора за кварцова лодка в оборудване за обработка на батерии с тежки условия на работа (като оборудване LPCVD и оборудване за дифузия на бор). В оборудването за обработка на батерии с обикновени работни условия, поради ценовите отношения, силициевият карбид и кварцовата опора за лодка стават съжителстващи и конкуриращи се категории.
① Връзка на заместване в LPCVD и оборудване за дифузия на бор
Оборудването LPCVD се използва за тунелиране на окисляване на батерийни клетки и процес на подготовка на легиран полисилициев слой. Принцип на работа:
При атмосфера с ниско налягане, комбинирана с подходяща температура, се постига химическа реакция и образуване на филм за отлагане, за да се подготви ултратънък тунелен оксиден слой и полисилициев филм. В процеса на тунелно окисляване и приготвяне на легиран полисилициев слой опората на лодката има висока работна температура и върху повърхността ще се отложи силициев филм. Коефициентът на топлинно разширение на кварца е доста различен от този на силиция. Когато се използва в горния процес, е необходимо редовно да се маринова и отстранява силицият, отложен на повърхността, за да се предотврати счупването на опората за кварцова лодка поради топлинно разширение и свиване поради различния коефициент на топлинно разширение от силиция. Поради честото ецване и ниската якост при висока температура, кварцовият държач за лодка има кратък живот и често се сменя в процеса на подготовка на тунелно окисление и легиран полисилициев слой, което значително увеличава производствените разходи на клетката на батерията. Коефициентът на разширение насилициев карбиде близо до това на силиция. Интегрираниятлодка от силициев карбиддържачът не изисква декапиране в процеса на тунелно окисление и подготовка на слой от легиран полисилиций. Има висока устойчивост на висока температура и дълъг експлоатационен живот. Това е добра алтернатива на кварцовия държач за лодка.
Оборудването за разширяване на бор се използва главно за процеса на легиране на борни елементи върху N-тип силиконова подложка на акумулаторната клетка, за да подготви P-тип емитер за образуване на PN преход. Принципът на работа е да се реализира химическа реакция и образуване на филм от молекулярно отлагане в атмосфера с висока температура. След като филмът се формира, той може да се дифузира чрез високотемпературно нагряване, за да се реализира функцията за допинг на повърхността на силиконовата пластина. Поради високата работна температура на оборудването за разширяване на бор, държачът за кварцова лодка има ниска якост при висока температура и кратък експлоатационен живот в оборудването за разширяване на бор. Интегрираниятлодка от силициев карбиддържачът има висока якост при висока температура и е добра алтернатива на кварцовия държач за лодка в процеса на разширяване с бор.
② Връзка на заместване в друго технологично оборудване
Подпорите за лодки от SiC имат малък производствен капацитет и отлична производителност. Тяхната цена обикновено е по-висока от тази на кварцовите опори за лодки. При общи условия на работа на оборудване за обработка на клетки, разликата в експлоатационния живот между SiC опори за лодки и кварцови опори за лодки е малка. Клиентите надолу по веригата основно сравняват и избират между цена и производителност въз основа на собствените си процеси и нужди. SiC опорите за лодки и кварцовите опори за лодки са станали съвместни и конкурентни. Въпреки това, брутният марж на печалбата на опорите за лодки от SiC е сравнително висок в момента. Със спада в производствените разходи на опорите за лодки от SiC, ако продажната цена на опорите за лодки от SiC активно намалява, това също ще създаде по-голяма конкурентоспособност на кварцовите опори за лодки.
Коефициент на използване
Пътят на клетъчната технология е основно PERC технология и TOPCon технология. Пазарният дял на технологията PERC е 88%, а пазарният дял на технологията TOPCon е 8,3%. Общият пазарен дял на двете е 96,30%.
Както е показано на фигурата по-долу:
В технологията PERC са необходими опори за лодки за предните процеси на дифузия на фосфор и отгряване. В технологията TOPCon опорите за лодки са необходими за предната борна дифузия, LPCVD, задната фосфорна дифузия и процесите на отгряване. Понастоящем опорите за лодки от силициев карбид се използват главно в процеса LPCVD на технологията TOPCon и приложението им в процеса на дифузия на бор е основно проверено.
Фигура Приложение на опори за лодки в процеса на обработка на клетки
Забележка: След предното и задното покритие на PERC и TOPCon технологиите, все още има връзки като ситопечат, синтероване и тестване и сортиране, които не включват използването на опори за лодки и не са изброени в горната фигура.
Време на публикуване: 15 октомври 2024 г