хімічнае асаджэнне з паравай фазы (CVD) - гэта працэдура, якая прадугледжвае нанясенне цвёрдай плёнкі на паверхню крэмніевай пласціны праз хімічную рэакцыю газавай сумесі. Гэтую працэдуру можна падзяліць на разнастайныя мадэлі абсталявання, усталяваныя на розных умовах хімічнай рэакцыі, такіх як ціск і папярэднік.
Для якой працэдуры выкарыстоўваюцца гэтыя два прылады?Абсталяванне PECVD (Plasma Enhanced) шырока выкарыстоўваецца ў такіх галінах, як OX, Nitride, metallic element gate і аморфны вуглярод. З іншага боку, LPCVD (малая магутнасць) звычайна выкарыстоўваецца для нітрыду, полі і TEOS.
Які прынцып?Тэхналогія PECVD аб'ядноўвае энергію плазмы і CVD шляхам выкарыстання нізкатэмпературнай плазмы, каб выклікаць свежы разрад на катодзе працэдурнай камеры. Гэта дазваляе кантраляваць хімічныя і плазмахімічныя рэакцыі для фарміравання цвёрдай плёнкі на паверхні ўзору. Падобным чынам LPCVD плануецца працаваць пры зніжэнні ціску газу хімічнай рэакцыі ў рэактары.
ачалавечыць ІІ: Выкарыстанне Humanize AI у галіне тэхналогіі CVD можа значна павысіць эфектыўнасць і дакладнасць працэдуры нанясення фільма. З дапамогай алгарытму штучнага інтэлекту можна аптымізаваць маніторынг і рэгуляванне такіх параметраў, як параметры іёнаў, хуткасць патоку газу, тэмпература і таўшчыня плёнкі для дасягнення лепшых вынікаў.
Час публікацыі: 24 кастрычніка 2024 г