Як паказана вышэй, з'яўляецца тыповым
Першы тайм:
Награвальны эле
Кварцавая трубка: Ядро гарачай акісляльнай печы, вырабленае з кварца высокай чысціні, які можа вытрымліваць высокія тэмпературы і заставацца хімічна інэртным.
Падача газу: Размешчана ў верхняй або збоку трубы печы, яна выкарыстоўваецца для транспарціроўкі кіслароду або іншых газаў унутр трубы печы.
Фланец SS: кампаненты, якія злучаюць кварцавыя трубкі і газаправоды, забяспечваючы герметычнасць і стабільнасць злучэння.
Лініі падачы газу: трубы, якія злучаюць MFC з портам падачы газу для перадачы газу.
MFC (кантролер масавага патоку): прылада, якая кантралюе паток газу ўнутры кварцавай трубкі для дакладнага рэгулявання неабходнай колькасці газу.
Вентыляцыйная адтуліна: выкарыстоўваецца для адводу выхлапных газаў знутры печнай трубы вонкі абсталявання.
Ніжняя частка
Крамянёвыя пласціны ў трымальніку: крамянёвыя пласціны змяшчаюцца ў спецыяльны трымальнік для забеспячэння раўнамернага нагрэву падчас акіслення.
Трымальнік пласціны: выкарыстоўваецца для ўтрымання крамянёвай пласціны і гарантуе, што крамянёвая пласціна застаецца стабільнай падчас працэсу.
П'едэстал: канструкцыя, якая ўтрымлівае трымальнік для крамянёвай пласціны, звычайна зроблены з матэрыялу, устойлівага да высокіх тэмператур.
Ліфт: выкарыстоўваецца для пад'ёму трымальнікаў вафель у кварцавыя трубкі і з іх для аўтаматычнай загрузкі і выгрузкі крамянёвых пласцін.
Робат для перадачы пласцін: размешчаны збоку ад трубкі печы, ён выкарыстоўваецца для аўтаматычнага вымання крамянёвай пласціны з скрынкі і размяшчэння яе ў трубцы печы або выдалення яе пасля апрацоўкі.
Карусель для захоўвання касет: карусель для захоўвання касет выкарыстоўваецца для захоўвання скрынкі з крамянёвымі пласцінамі і можа круціцца для доступу робата.
Вафельная касета: вафельная касета выкарыстоўваецца для захоўвання і перадачы крэмніевых пласцін, якія падлягаюць апрацоўцы.
Час публікацыі: 22 красавіка 2024 г