Хімічнае асаджэнне з паравай фазы (CVD) - гэта важная тэхналогія нанясення тонкіх плёнак, якая часта выкарыстоўваецца для падрыхтоўкі розных функцыянальных плёнак і тонкапластовых матэрыялаў і шырока выкарыстоўваецца ў вытворчасці паўправаднікоў і ў іншых галінах.
1. Прынцып дзеяння CVD
У працэсе CVD папярэднік газу (адно або некалькі газападобных злучэнняў-папярэднікаў) уводзіцца ў кантакт з паверхняй падкладкі і награваецца да пэўнай тэмпературы, каб выклікаць хімічную рэакцыю і адклад на паверхні падкладкі з адукацыяй патрэбнай плёнкі або пакрыцця. пласт. Прадукт гэтай хімічнай рэакцыі ўяўляе сабой цвёрдае рэчыва, звычайна злучэнне патрэбнага матэрыялу. Калі мы хочам прыляпіць крэмній да паверхні, мы можам выкарыстоўваць трыхларасілан (SiHCl3) у якасці газу-папярэдніка: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl Крэмній будзе звязвацца з любой адкрытай паверхняй (як унутранай, так і знешняй), а газы хлору і салянай кіслаты будуць быць выпісаны з камеры.
2. Класіфікацыя ССЗ
Тэрмічнае CVD: шляхам награвання газу-папярэдніка для раскладання і адкладання на паверхні падкладкі. CVD з узмацненнем плазмы (PECVD): Плазма дадаецца да тэрмічнага CVD для павышэння хуткасці рэакцыі і кантролю працэсу нанясення. Металаарганічны CVD (MOCVD): з выкарыстаннем металаарганічных злучэнняў у якасці газаў-папярэднікаў можна атрымаць тонкія плёнкі металаў і паўправаднікоў, якія часта выкарыстоўваюцца ў вытворчасці такіх прылад, як святлодыёды.
3. Прымяненне
(1) Вытворчасць паўправаднікоў
Сіліцыдная плёнка: выкарыстоўваецца для падрыхтоўкі ізаляцыйных слаёў, падкладак, ізаляцыйных слаёў і г. д. Нітрыдная плёнка: выкарыстоўваецца для падрыхтоўкі нітрыду крэмнію, нітрыду алюмінія і г. д., выкарыстоўваецца ў святлодыёдах, сілавых прыладах і г. д. Металічная плёнка: выкарыстоўваецца для падрыхтоўкі токаправодных слаёў, металізаваная пласты і інш.
(2) Тэхналогія адлюстравання
Плёнка ITO: празрыстая токаправодная аксідная плёнка, звычайна выкарыстоўваецца ў плоскіх дысплеях і сэнсарных экранах. Медная плёнка: выкарыстоўваецца для падрыхтоўкі слаёў упакоўкі, токаправодных ліній і г.д., каб палепшыць прадукцыйнасць прылад адлюстравання.
(3) Іншыя палі
Аптычныя пакрыцця: у тым ліку антыблікавае пакрыццё, аптычныя фільтры і г.д. Антыкаразійнае пакрыццё: выкарыстоўваецца ў аўтамабільных дэталях, аэракасмічных прыладах і г.д.
4. Характарыстыка ССЗ працэсу
Выкарыстоўвайце асяроддзе з высокай тэмпературай для павышэння хуткасці рэакцыі. Звычайна выконваецца ў вакуумнай асяроддзі. Перад афарбоўкай неабходна выдаліць забруджвання на паверхні дэталі. Працэс можа мець абмежаванні на падкладкі, на якія можна наносіць пакрыццё, напрыклад, тэмпературныя абмежаванні або абмежаванні рэакцыйнай здольнасці. CVD-пакрыццё пакрые ўсе ўчасткі дэталі, уключаючы разьбу, глухія адтуліны і ўнутраныя паверхні. Можа абмежаваць магчымасць маскіраваць пэўныя мэтавыя вобласці. Таўшчыня плёнкі абмежавана ўмовамі працэсу і матэрыялу. Выдатная адгезія.
5. Перавагі тэхналогіі CVD
Аднастайнасць: магчымасць дасягнуць раўнамернага нанясення на падкладкі вялікай плошчы.
Кантраляванасць: Хуткасць нанясення і ўласцівасці плёнкі можна рэгуляваць, кантралюючы хуткасць патоку і тэмпературу газу-папярэдніка.
Універсальнасць: падыходзіць для нанясення розных матэрыялаў, такіх як металы, паўправаднікі, аксіды і г.д.
Час публікацыі: 6 мая 2024 г