Прагрэс прымянення і даследаванняў пакрыцця SiC у матэрыялах цеплавога поля вугляроду/вугляроду для монакрышталічнага крэмнія-2

1 Прымяненне і прагрэс даследаванняў пакрыцця з карбіду крэмнію ў вугляродных/вугляродных матэрыялах з цеплавым полем

1.1 Прагрэс прымянення і даследаванняў у падрыхтоўцы тыгля

0 (1)

У монакрышталічным цеплавым полівугляродны/вугляродны тыгельу асноўным выкарыстоўваецца ў якасці ёмістасці для крамянёвага матэрыялу і знаходзіцца ў кантакце зкварцавы тыгель, як паказана на малюнку 2. Працоўная тэмпература вугляроднага/вугляроднага тыгля складае каля 1450 ℃, што падвяргаецца падвойнай эрозіі цвёрдага крэмнію (дыяксіду крэмнія) і пароў крэмнію, і, нарэшце, тыгель становіцца тонкім або мае кальцавую расколіну , што прывяло да выхаду з ладу тыгля.

Кампазітнае пакрыццё з вугляроду/вугляроднага кампазітнага тыгля было падрыхтавана з дапамогай працэсу хімічнай парапранікальнасці і рэакцыі на месцы. Кампазітнае пакрыццё складалася з пакрыцця з карбіду крэмнію (100~300 мкм), крэмніевага пакрыцця (10~20 мкм) і пакрыцця з нітрыду крэмнію (50~100 мкм), якія маглі эфектыўна інгібіраваць карозію пароў крэмнію на ўнутранай паверхні кампазітнага матэрыялу вуглярод/вуглярод. тыгель. У працэсе вытворчасці страты вугляроднага/вугляроднага кампазітнага тыгля з кампазітным пакрыццём складаюць 0,04 мм на печ, а тэрмін службы можа дасягаць 180 раз у печы.

Даследчыкі выкарыстоўвалі метад хімічнай рэакцыі для атрымання аднастайнага пакрыцця з карбіду крэмнію на паверхні вугляроднага кампазітнага тыгля пры пэўных тэмпературных умовах і абароне газу-носьбіта, выкарыстоўваючы дыяксід крэмнія і металічны крэмній у якасці сыравіны ў працэсе высокатэмпературнага спякання. печ. Вынікі паказваюць, што высокатэмпературная апрацоўка не толькі паляпшае чысціню і трываласць лакавага пакрыцця, але і значна павышае зносаўстойлівасць паверхні вугляроднага/вугляроднага кампазіта і прадухіляе карозію паверхні тыгля парамі SiO і лятучыя атамы кіслароду ў печы монакрышталічнага крэмнію. Тэрмін службы тыгля павялічваецца на 20% у параўнанні з тыглям без пакрыцця.

1.2 Прагрэс прымянення і даследаванняў у накіравальнай трубцы

Накіроўвалы цыліндр размешчаны над тыглям (як паказана на малюнку 1). У працэсе выцягвання крышталя розніца тэмператур паміж унутраным і знешнім полем вялікая, асабліва ніжняя паверхня бліжэй за ўсё да расплаўленага крамянёвага матэрыялу, тэмпература самая высокая, а карозія парамі крэмнію найбольш сур'ёзная.

Даследчыкі вынайшлі просты працэс і добрую ўстойлівасць да акіслення антыакісляльнага пакрыцця накіроўвалай трубкі і метад падрыхтоўкі. Спачатку на матрыцы накіроўвалай трубкі на месцы вырасцілі пласт карбіду крэмнію, а затым падрыхтавалі знешні пласт з карбіду крэмнію, у выніку чаго паміж матрыцай і павярхоўным пластом з карбіду крэмнію ўтварыўся пераходны пласт SiCw. , як паказана на малюнку 3. Каэфіцыент цеплавога пашырэння быў паміж матрыцай і карбідам крэмнію. Гэта можа эфектыўна паменшыць цеплавое напружанне, выкліканае неадпаведнасцю каэфіцыента цеплавога пашырэння.

0 (2)

Аналіз паказвае, што з павелічэннем утрымання SiCw памяншаюцца памер і колькасць расколін у пакрыцці. Пасля 10-гадзіннага акіслення ў паветры пры тэмпературы 1100 ℃ хуткасць страты вагі ўзору пакрыцця складае ўсяго 0,87%~8,87%, а ўстойлівасць да акіслення і ўстойлівасць да тэрмічнага ўдару пакрыцця з карбіду крэмнію значна паляпшаецца. Увесь працэс падрыхтоўкі завяршаецца бесперапынна шляхам хімічнага асаджэння з паравай фазы, падрыхтоўка пакрыцця з карбіду крэмнію значна спрашчаецца, а комплексныя характарыстыкі ўсёй асадкі ўзмацняюцца.

Даследчыкі прапанавалі метад умацавання матрыцы і пакрыцця паверхні графітавай накіроўвалай трубкі для монакрышталічнага крэмнію czohr. Атрыманую суспензію карбіду крэмнію раўнамерна наносілі на паверхню графітавай накіроўвалай трубкі таўшчынёй пакрыцця 30~50 мкм метадам нанясення пэндзлем або распыленнем, а затым змяшчалі ў высокатэмпературную печ для рэакцыі на месцы, тэмпература рэакцыі была 1850~2300 ℃, а захаванне цяпла было 2~6 гадзін. Вонкавы пласт SiC можа быць выкарыстаны ў печы для вырошчвання монакрышталяў памерам 24 цалі (60,96 см), тэмпература выкарыстання складае 1500 ℃, і выяўлена, што пасля 1500 гадзін на паверхні графітавага накіроўвалага цыліндру няма расколін і асыпання парашка. .

1.3 Прагрэс прымянення і даследаванняў ізаляцыйнага цыліндру

Як адзін з ключавых кампанентаў сістэмы цеплавога поля з монакрышталічнага крэмнію, ізаляцыйны цыліндр у асноўным выкарыстоўваецца для памяншэння страт цяпла і кантролю тэмпературнага градыенту асяроддзя цеплавога поля. З'яўляючыся апорнай часткай ізаляцыйнага пласта ўнутранай сценкі монакрышталічнай печы, крэмніевая паравая карозія прыводзіць да выпадзення дзындры і парэпання прадукту, што ў канчатковым выніку прыводзіць да паломкі прадукту.

Каб яшчэ больш павысіць устойлівасць кампазітнай ізаляцыйнай трубкі C/C-sic да карозіі пароў крэмнію, даследчыкі змясцілі падрыхтаваную кампазітную ізаляцыйную трубу C/C-sic у печ хімічнай паравой рэакцыі і падрыхтавалі шчыльнае пакрыццё з карбіду крэмнію. паверхні кампазітных ізаляцыйных труб C/C-sic з дапамогай працэсу хімічнага нанясення з паравай фазы. Вынікі паказваюць, што працэс можа эфектыўна інгібіраваць карозію вугляроднага валакна на стрыжні C/C-sic кампазітнага крэмнію, і каразійная стойкасць крэмніевых пароў павялічваецца ў 5-10 разоў у параўнанні з вугляродным/вугляродным кампазітным матэрыялам. і тэрмін службы ізаляцыйнага цыліндру і бяспека асяроддзя цеплавога поля значна палепшаны.

2.Вывад і перспектыва

Пакрыццё з карбіду крэмніяусё больш і больш шырока выкарыстоўваецца ў вугляродных/вугляродных матэрыялах з цеплавым полем з-за сваёй выдатнай устойлівасці да акіслення пры высокай тэмпературы. З павелічэннем памеру вугляродных/вугляродных матэрыялаў цеплавога поля, якія выкарыстоўваюцца ў вытворчасці монакрышталічнага крэмнію, стала актуальнай праблема, як палепшыць аднастайнасць пакрыцця з карбіду крэмнію на паверхні матэрыялаў цеплавога поля і павялічыць тэрмін службы вугляродных/вугляродных матэрыялаў цеплавога поля. быць вырашана.

З іншага боку, з развіццём індустрыі монакрышталічнага крэмнію попыт на матэрыялы цеплавога поля з вугляродам/вугляродам высокай чысціні таксама расце, і нанавалокны SiC таксама вырошчваюцца на ўнутраных вугляродных валокнах падчас рэакцыі. Масавая і лінейная хуткасці абляцыі C/C-ZRC і C/C-sic ZrC кампазітаў, атрыманых у выніку эксперыментаў, складаюць -0,32 мг/с і 2,57 мкм/с адпаведна. Масавая і лінейная хуткасці абляцыі кампазітаў C/C-sic -ZrC складаюць -0,24 мг/с і 1,66 мкм/с адпаведна. Кампазіты C/C-ZRC з нанавалакнамі SiC маюць лепшыя абляцыйныя ўласцівасці. Пазней будзе вывучаны ўплыў розных крыніц вугляроду на рост нанавалокнаў SiC і механізм узмацнення нанавалокнаў SiC аблятыўных уласцівасцей кампазітаў C/C-ZRC.

Кампазітнае пакрыццё з вугляроду/вугляроднага кампазітнага тыгля было падрыхтавана з дапамогай працэсу хімічнай парапранікальнасці і рэакцыі на месцы. Кампазітнае пакрыццё складалася з пакрыцця з карбіду крэмнію (100~300 мкм), крэмніевага пакрыцця (10~20 мкм) і пакрыцця з нітрыду крэмнію (50~100 мкм), якія маглі эфектыўна інгібіраваць карозію пароў крэмнію на ўнутранай паверхні кампазітнага матэрыялу вуглярод/вуглярод. тыгель. У працэсе вытворчасці страты вугляроднага/вугляроднага кампазітнага тыгля з кампазітным пакрыццём складаюць 0,04 мм на печ, а тэрмін службы можа дасягаць 180 раз у печы.


Час публікацыі: 22 лютага 2024 г
Інтэрнэт-чат WhatsApp!