vet-china hər Dayanıqlı olmasını təmin edirSilikon karbid gofretlə işləyən avarəla performansa və davamlılığa malikdir. Bu silisium karbid vafli daşıyan avar yüksək temperatur və kimyəvi korroziya mühitlərində onun struktur sabitliyini və funksionallığını təmin etmək üçün qabaqcıl istehsal proseslərindən istifadə edir. Bu innovativ dizayn, xüsusilə yüksək dəqiqlikli avtomatlaşdırılmış əməliyyatlar üçün yarımkeçirici vaflilərin idarə edilməsinə əla dəstək verir.
SiC Cantilever Paddleoksidləşmə sobası, diffuziya sobası və tavlama sobası kimi yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında istifadə olunan ixtisaslaşdırılmış komponentdir, əsas istifadə vafli yükləmə və boşaltma üçün, yüksək temperatur prosesləri zamanı vafliləri dəstəkləyir və nəql edir.
Ümumi strukturlarofSiCcantileverpəlavə: bir ucunda sabit, digər ucunda sərbəst olan konsol konstruksiya adətən düz və avarvari dizayna malikdir.
İşləyirpprinsipofSiCcantileverpəlavə:
Konsol avar soba kamerası daxilində yuxarı-aşağı və ya irəli-geri hərəkət edə bilər, vafliləri yükləmə sahələrindən emal sahələrinə və ya emal sahələrindən kənara çıxarmaq, yüksək temperaturda emal zamanı vafliləri dəstəkləmək və sabitləşdirmək üçün istifadə edilə bilər.
| Yenidən kristallaşdırılmış silisium karbidinin fiziki xassələri | |
| Əmlak | Tipik Dəyər |
| İş temperaturu (°C) | 1600°C (oksigenlə), 1700°C (azaldıcı mühit) |
| SiC tərkibi | > 99,96% |
| Pulsuz Si məzmunu | < 0,1% |
| Kütləvi sıxlıq | 2,60-2,70 q/sm3 |
| Görünən məsaməlilik | < 16% |
| Sıxılma gücü | > 600 MPa |
| Soyuq əyilmə gücü | 80-90 MPa (20°C) |
| İsti əyilmə gücü | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termal genişlənmə @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| İstilik keçiriciliyi @1200°C | 23 Vt/m•K |
| Elastik modul | 240 GPa |
| Termal şok müqaviməti | Çox yaxşı |
