Gofret Emalı üçün Təkmil SiC Konsol Paddle

Qısa təsvir:

Vet-china tərəfindən buraxılan Qabaqcıl SiC Cantilever Paddle Wafer Emalı üçün vafli emalının səmərəliliyini və dəqiqliyini artırmaq üçün yüksək texnologiyalı SiC materiallarından istifadə edir. Vet-china-nın cantilever avar əla istiliyə davamlılığı və korroziyaya davamlılığı ilə sərt istehsal mühitlərində vafli ilə sabit işləmə performansını təmin edir və onu istehsal məhsuldarlığını artırmaq üçün ideal seçim edir.

Bizə e-poçt göndərin PDF olaraq yükləyin

Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

QabaqcılSiC Cantilever Paddlevet-china tərəfindən yaradılmış Wafer Processing üçün yarımkeçiricilərin istehsalı üçün əla həll təqdim edir. Bu konsol avar SiC (silisium karbid) materialından hazırlanmışdır və onun yüksək sərtliyi və istilik müqaviməti ona yüksək temperaturda və korroziyalı mühitlərdə əla performans göstərməyə imkan verir. Cantilever Paddle dizaynı vafli emal zamanı etibarlı şəkildə dəstəklənməyə imkan verir, parçalanma və zədələnmə riskini azaldır.

SiC Cantilever Paddleoksidləşmə sobası, diffuziya sobası və tavlama sobası kimi yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında istifadə olunan ixtisaslaşdırılmış komponentdir, əsas istifadə vafli yükləmə və boşaltma üçün, yüksək temperatur prosesləri zamanı vafliləri dəstəkləyir və nəql edir.

Ümumi strukturlarofSiCcantileverpəlavə: bir ucunda sabit, digər ucunda sərbəst olan konsol konstruksiya adətən düz və avarvari dizayna malikdir.

VET Energy keyfiyyətə zəmanət vermək üçün yüksək təmizlikdə yenidən kristallaşdırılmış silisium karbid materiallarından istifadə edir.

Yenidən kristallaşdırılmış silisium karbidinin fiziki xassələri
Əmlak	Tipik Dəyər
İş temperaturu (°C)	1600°C (oksigenlə), 1700°C (azaldıcı mühit)
SiC tərkibi	> 99,96%
Pulsuz Si məzmunu	< 0,1%
Kütləvi sıxlıq	2,60-2,70 q/sm³
Görünən məsaməlilik	< 16%
Sıxılma gücü	> 600MPa
Soyuq əyilmə gücü	80-90 MPa (20°C)
İsti əyilmə gücü	90-100 MPa (1400°C)
Termal genişlənmə @1500°C	4.70 10^-6/°C
İstilik keçiriciliyi @1200°C	23W/m•K
Elastik modul	240 GPa
Termal şok müqaviməti	Çox yaxşı