silisium karbid keramika örtük qızdırıcısı

Vet-ÇinSilikon karbid keramikaKaplama son dərəcə sərt və aşınmaya davamlı olan yüksək performanslı qoruyucu örtükdürsilisium karbid (SiC)əla kimyəvi korroziyaya davamlılıq və yüksək temperaturda sabitlik təmin edən material. Bu xüsusiyyətlər yarımkeçirici istehsalında həlledici əhəmiyyət kəsb edirSilikon Karbid Seramik Kaplamayarımkeçirici istehsal avadanlıqlarının əsas komponentlərində geniş istifadə olunur.

Vet-Çinin xüsusi roluSilikon karbid keramikaYarımkeçirici istehsalında örtük aşağıdakı kimidir:

Avadanlığın davamlılığını artırmaq:Silikon Karbid Seramik Kaplama Silikon Karbid Seramik Kaplama son dərəcə yüksək sərtlik və aşınma müqaviməti ilə yarımkeçirici istehsal avadanlığı üçün mükəmməl səth qorunmasını təmin edir. Xüsusilə kimyəvi buxar çökmə (CVD) və plazma aşındırma kimi yüksək temperaturlu və yüksək korroziyaya məruz qalan proses mühitlərində örtük avadanlığın səthinin kimyəvi eroziya və ya fiziki aşınma nəticəsində zədələnməsinin qarşısını effektiv şəkildə ala bilər və beləliklə, avadanlıqların xidmət müddətini əhəmiyyətli dərəcədə uzadır. avadanlıqların tez-tez dəyişdirilməsi və təmiri nəticəsində yaranan fasilələrin azaldılması.

Prosesin təmizliyini yaxşılaşdırın:Yarımkeçiricilərin istehsalı prosesində kiçik çirklənmə məhsulun qüsurlarına səbəb ola bilər. Silikon Karbid Seramik Kaplamanın kimyəvi təsirsizliyi onun ekstremal şəraitdə sabit qalmasına imkan verir, materialın hissəcikləri və ya çirkləri buraxmasının qarşısını alır və bununla da prosesin ekoloji təmizliyini təmin edir. Bu, PECVD və ion implantasiyası kimi yüksək dəqiqlik və yüksək təmizlik tələb edən istehsal mərhələləri üçün xüsusilə vacibdir.

İstilik idarəetməsini optimallaşdırın:Sürətli istilik emal (RTP) və oksidləşmə prosesləri kimi yüksək temperaturlu yarımkeçirici emalda Silikon Karbid Seramik Kaplamanın yüksək istilik keçiriciliyi avadanlıq daxilində temperaturun bərabər paylanmasına imkan verir. Bu, temperaturun dəyişməsi nəticəsində yaranan istilik gərginliyini və material deformasiyasını azaltmağa kömək edir və bununla da məhsulun istehsal dəqiqliyini və tutarlılığını yaxşılaşdırır.

Mürəkkəb proses mühitlərini dəstəkləyin:ICP aşındırma və PSS aşındırma prosesləri kimi mürəkkəb atmosfer nəzarətini tələb edən proseslərdə, Silikon Karbid Seramik Kaplamanın sabitliyi və oksidləşmə müqaviməti avadanlığın uzunmüddətli istismarda sabit performansını təmin edir, materialın deqradasiyası və ya avadanlıqların zədələnməsi riskini azaldır. ətraf mühit dəyişikliklərinə.