Silicon Carbide Coating Grafiet Skinkbordplaat en deksel

Kort beskrywing:

VET Energy silikonkarbiedbedekking grafietplaat en -bedekking is 'n hoëprestasieproduk wat ontwerp is om konsekwente en betroubare werkverrigting oor 'n lang tydperk te lewer. Dit het super goeie hittebestandheid en termiese eenvormigheid, hoë suiwerheid, erosiebestandheid, wat dit die perfekte oplossing maak vir waferverwerkingstoepassings.

Stuur e-pos aan ons Laai af as PDF

Produkbesonderhede

Produk Tags

VET EnergieSilicon Carbide Coating Grafiet Skinkbord, Plaat, en Omslag is ontwerp om top-vlak werkverrigting te lewer, wat betroubare en konsekwente werking bied oor langdurige gebruik, wat dit 'n noodsaaklike keuse maak vir waferverwerkingstoepassings in die halfgeleierbedryf. Hierdie hoëprestasieSilikonkarbiedbedekking grafietplaatspog met uitsonderlike hittebestandheid, voortreflike termiese eenvormigheid en uitstaande chemiese stabiliteit, veral in hoë-temperatuur toestande. Die hoë-suiwer konstruksie, tesame met gevorderde erosie weerstand, maak dit onontbeerlik vir veeleisende omgewings soos bv.MOCVD-susceptors.

Sleutelkenmerke van silikonkarbiedbedekking grafietbak, plaat en deksel

1. Hoë-temperatuur oksidasie weerstand:Weerstaan temperature tot 1700 ℃, wat dit in staat stel om betroubaar in uiterste toestande te werk.

2. Hoë suiwerheid en termiese eenvormigheid:Konsekwente hoë suiwerheid en eweredige hitteverspreiding is noodsaaklik vir MOCVD-toepassings.

3. Uitsonderlike korrosieweerstand:Bestand teen sure, alkalieë, soute en verskeie organiese reagense, wat langtermynstabiliteit in diverse omgewings verseker.

4. Hoë hardheid en kompakte oppervlak:Beskik oor 'n digte oppervlak met fyn deeltjies, wat algehele duursaamheid en weerstand teen slytasie verbeter.

5. Verlengde dienslewe:Ontwerp vir lang lewe, beter as konvensioneelsilikonkarbied-bedekte grafiet susceptorsin harde halfgeleierverwerkingsomgewings.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Basiese fisiese eienskappe van CVD SiCdeklaag
性质 / Eiendom	典型数值 / Tipiese waarde
晶体结构 / Kristalstruktuur	FCC β fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Digtheid	3,21 g/cm³
硬度 / Hardheid	2500 维氏硬度（500g vrag）
晶粒大小 / Graangrootte	2~10μm
纯度 / Chemiese Suiwerheid	99,99995%
热容 / Hittekapasiteit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimasie Temperatuur	2700 ℃
抗弯强度 / Buigkrag	415 MPa RT 4-punt
杨氏模量 / Young se Modulus	430 Gpa 4pt buiging, 1300 ℃
导热系数 / ThermalGeleidingsvermoë	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termiese uitbreiding (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy se kundigheid in pasgemaakte grafiet- en silikonkarbiedoplossings

As 'n betroubare vervaardiger spesialiseer VET Energy in pasgemaakte grafietsusceptors en silikonkarbiedbedekkingsoplossings. Ons bied 'n reeks produkte wat aangepas is vir die halfgeleier- en fotovoltaïese industrieë, insluitendSiC-bedekte grafietkomponentesoos skinkborde, borde en deksels. Ons produkreeks bevat ook diverse deklaagopsies, soosSiC-bedekking vir MOCVD, TaC-bedekking, glasagtige koolstofbedekking, en pirolitiese koolstofbedekking, wat verseker dat ons aan die verskillende vereistes van hoë-tegnologie nywerhede voldoen.

Ons ervare tegniese span, bestaande uit kundiges van top plaaslike navorsingsinstellings, bied omvattende materiaaloplossings vir kliënte. Ons verfyn voortdurend ons gevorderde prosesse, insluitend 'n eksklusiewe gepatenteerde tegnologie wat binding tussen die silikonkarbiedbedekking en die grafietsubstraat verbeter, wat die risiko van losmaak verminder en die produk se lewe verder verleng.

Toepassings en voordele in halfgeleiervervaardiging

DieSilikonkarbiedbedekking vir MOCVDmaak hierdie grafiet susceptors hoogs effektief in hoë-temperatuur, korrosiewe omgewings. Of dit nou as grafietwafeldraers of ander MOCVD-komponente gebruik word, hierdie silikonkarbied-bedekte susceptors toon voortreflike duursaamheid en werkverrigting. Vir diegene wat betroubare oplossings soek in dieSiC-bedekte grafiet-susceptormark, bied VET Energy se silikonkarbied-bedekte grafietbak, plaat en deksel 'n robuuste en veelsydige opsie wat aan die streng eise van die halfgeleierbedryf voldoen.

Deur op gevorderde materiaalwetenskap te fokus, is VET Energy daartoe verbind om hoëprestasie SiC-bedekte grafietoplossings te lewer wat innovasie in halfgeleierverwerking aandryf en betroubare werkverrigting in alle MOCVD-verwante toepassings verseker.

VET Energy is die regte vervaardiger van pasgemaakte grafiet- en silikonkarbiedprodukte met verskillende bedekkings soos SiC-bedekking, TaC-bedekking, glasagtige koolstofbedekking, pirolitiese koolstofbedekking, ens., Kan verskeie pasgemaakte onderdele vir halfgeleier- en fotovoltaïese industrie verskaf.

Ons tegniese span kom van top plaaslike navorsingsinstellings, kan meer professionele materiaal oplossings vir jou verskaf.

Ons ontwikkel voortdurend gevorderde prosesse om meer gevorderde materiale te verskaf, en het 'n eksklusiewe gepatenteerde tegnologie uitgewerk, wat die binding tussen die deklaag en die substraat stywer en minder geneig tot losmaak kan maak.

Hartlik welkom om ons fabriek te besoek, laat ons verder bespreek!