Hoe om PECVD grafietboot skoon te maak?| VET Energie

1. Erkenning voor skoonmaak

1) Wanneer diePECVD grafiet boot/draer meer as 100 tot 150 keer gebruik word, moet die operateur die bedekkingstoestand betyds nagaan. As daar 'n abnormale deklaag is, moet dit skoongemaak en bevestig word. Die normale laagkleur van die silikonwafel in die grafietboot/draer is blou. As die wafer nie-blou, veelvuldige kleure het, of die kleurverskil tussen die wafers groot is, is dit 'n abnormale deklaag, en die oorsaak van die abnormaliteit moet betyds bevestig word.
2) Na die proses ontleed personeel die coating toestand van diePECVD grafiet boot/draer, sal hulle bepaal of die grafietboot skoongemaak moet word en of die kaartpunt vervang moet word, en die grafietboot/draer wat skoongemaak moet word, sal aan die toerustingpersoneel oorhandig word vir skoonmaak.

 

3) Na diegrafiet boot/draer beskadig is, sal die produksiepersoneel al die silikonwafers in die grafietboot uithaal en CDA (saamgeperste lug) gebruik om die fragmente in diegrafiet boot. Na voltooiing sal die toerustingpersoneel dit in die suurtenk lig wat voorberei is met 'n sekere hoeveelheid HF-oplossing vir skoonmaak.

 skoon PECVD grafiet boot (2)

2. Skoonmaak van grafiet boot

Dit word aanbeveel om 'n 15-25% fluoorsuuroplossing te gebruik vir drie rondtes skoonmaak, elk vir 4-5 uur, en periodiek borrelende stikstof tydens die week- en skoonmaakproses, wat ongeveer 'n halfuur skoonmaak byvoeg; let wel: dit word nie aanbeveel om lug direk as die gasbron vir borrel te gebruik nie. Spoel met suiwer water vir ongeveer 10 uur na die beits en bevestig dat die boot deeglik skoongemaak is. Na skoonmaak, gaan asseblief die oppervlak van die boot, die grafietkaartpunt en die bootvellas en ander dele na om te sien of daar enige silikonnitriedresidu is. Droog dan volgens die vereistes.

skoon PECVD grafiet boot (1)

3. Skoonmaak voorsorgmaatreëls

A) Aangesien HF-suur 'n hoogs korrosiewe stof is en 'n sekere vlugtigheid het, is dit gevaarlik vir operateurs. Daarom moet operateurs by die skoonmaakpos veiligheidsmaatreëls tref en deur 'n toegewyde persoon bestuur word.

B) Dit word aanbeveel om die boot uitmekaar te haal en slegs die grafietdeel skoon te maak tydens skoonmaak, sodat elke kontakdeel deegliker skoongemaak kan word. Tans gebruik baie huishoudelike vervaardigers algehele skoonmaak, wat gerieflik is, maar omdat HF-suur korrosief is vir keramiekonderdele, sal algehele skoonmaak die dienslewe van die ooreenstemmende onderdele verkort.


Postyd: 23 Desember 2024
WhatsApp aanlynklets!