CVD Silicon Carbide Coating MOCVD Susceptor

Kort beskrywing:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor is 'n hoëprestasieproduk wat ontwerp is om konsekwente en betroubare werkverrigting oor 'n lang tydperk te lewer. Dit het super goeie hittebestandheid en termiese eenvormigheid, hoë suiwerheid, erosiebestandheid, wat dit die perfekte oplossing maak vir waferverwerkingstoepassings.

Plek van oorsprong:Zhejiang, China (vasteland)

Modelnommer:Boot 3002

Chemiese samestelling:SiC-bedekte grafiet

Elektriese weerstand:11 μΩm

Shore Hardheid: 58

Termiese geleidingsvermoë:116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Voorbeeld:Beskikbaar

HS Kode:6903100000

Handelsnaam:VET

Digtheid:1,85 g/cm3

Buigkrag:49 MPa

As: <5 dpm

Kwaliteit:Perfek

Aansoek:Halfgeleier / fotovoltaïese

Stuur e-pos aan ons Laai af as PDF

Produkbesonderhede

Produk Tags

Die VET EnergieSiC-bedekte MOCVD-opnemeris 'n hoëprestasieproduk wat ontwerp is vir konsekwente en betroubare werkverrigting in wafelverwerkingstoepassings. Met 'n meerdereSiC-bedekking, dit bied uitsonderlike hittebestandheid, termiese eenvormigheid en korrosiebestandheid. Ideaal virMOCVD toerusting, hierdiesilikonkarbied-bedekte susceptorverseker optimaalwafergroei en verlengde toerustingleeftyd.

Produk kenmerke:

1. Hoë-temperatuur oksidasie weerstand tot 1700 ℃: Ons SiC-bedekking bied uitsonderlike termiese stabiliteit, selfs in die mees veeleisende MOCVD-omgewings.

2. Hoë suiwerheid en termiese eenvormigheid: Die silikonkarbied-susceptor waarborg minimale onsuiwerhede en konsekwente verhitting oor die wafer, wat uitstekende kristalgehalte verseker.

3. Uitstekende weerstand teen korrosie: Weerstand teen sure, alkalieë, soute en organiese reagense, ons susceptor behou sy integriteit in verskeie chemiese omgewings.

4. Hoë hardheid, digte oppervlak en fyn deeltjies: Hierdie eienskappe dra by tot 'n langer dienslewe en verbeterde duursaamheid.

Ons CVD silikonkarbied bedekte produk voordele en toepassings

MOCVD-susceptors lewer aansienlike voordele in halfgeleiervervaardiging. Die SiC-bedekking verbeter wafelgehalte, verminder defekte en optimaliseer produksiedoeltreffendheid. VET Energy verskaf 'n wye reeks silikonkarbiedprodukte wat aangepas is vir die spesifieke behoeftes van die halfgeleier- en fotovoltaïese industrieë.

Produkaanpassing en tegniese ondersteuning

As 'n toonaangewende vervaardiger van silikonkarbied- en grafietprodukte, bied VET Energy pasgemaakte oplossings met verskeie bedekkings soos SiC, TaC, glasagtige koolstof en pirolitiese koolstof. Ons ervare span kan kundige leiding en ondersteuning vir jou spesifieke toepassing verskaf.