Duursame silikonkarbied-wafel-hanteringspad

veearts-China verseker dat elke DuursameSilicon Carbide Wafer Hantering Paddlehet uitstekende werkverrigting en duursaamheid. Hierdie silikonkarbied-wafelhanteringspad gebruik gevorderde vervaardigingsprosesse om te verseker dat sy strukturele stabiliteit en funksionaliteit in hoë temperatuur- en chemiese korrosie-omgewings bly. Hierdie innoverende ontwerp bied uitstekende ondersteuning vir halfgeleier-wafelhantering, veral vir hoë-presisie outomatiese bedrywighede.

SiC Cantilever Paddleis 'n gespesialiseerde komponent wat gebruik word in halfgeleiervervaardigingstoerusting soos oksidasie-oond, diffusie-oond en uitgloeioond, die hoofgebruik is vir wafers laai en aflaai, ondersteun en vervoer wafers tydens hoë-temperatuur prosesse.

Algemene strukturevanSiCcantihefboompaddle: 'n vrykragstruktuur, vas aan die een kant en vry aan die ander kant, het tipies 'n plat en roeiagtige ontwerp.

WerkprinsipelvanSiCcantihefboompaddle:

Die vrykrag-roeispan kan op en af ​​of heen en weer beweeg binne die oondkamer, dit kan gebruik word om wafers van laaiareas na verwerkingsareas te skuif, of uit verwerkingsareas, wat wafers ondersteun en stabiliseer tydens hoëtemperatuurverwerking.