silikonkarbied keramiekbedekkingsverwarmer

Veearts-ChinaSilikonkarbied keramiekCoating is 'n hoë-prestasie beskermende laag gemaak van uiters hard en slijtvastsilikonkarbied (SiC)materiaal, wat uitstekende chemiese korrosiebestandheid en hoë-temperatuur stabiliteit bied. Hierdie eienskappe is van kardinale belang in halfgeleierproduksie, dusSilikonkarbied keramiekbedekkingword wyd gebruik in sleutelkomponente van halfgeleiervervaardigingstoerusting.

Die spesifieke rol van Vet-ChinaSilikonkarbied keramiekBedekking in halfgeleierproduksie is soos volg:

Verbeter toerusting se duursaamheid:Silicon Carbide Keramiek Coating Silicon Carbide Keramiek Coating bied uitstekende oppervlakbeskerming vir halfgeleiervervaardigingstoerusting met sy uiters hoë hardheid en slytasieweerstand. Veral in hoë-temperatuur en hoogs korrosiewe proses-omgewings, soos chemiese dampneerslag (CVD) en plasma-ets, kan die deklaag effektief voorkom dat die oppervlak van die toerusting beskadig word deur chemiese erosie of fisiese slytasie, en sodoende die lewensduur van die toerusting aansienlik verleng. die toerusting en die vermindering van stilstand wat veroorsaak word deur gereelde vervanging en herstel.

Verbeter prosessuiwerheid:In die halfgeleiervervaardigingsproses kan klein besoedeling produkdefekte veroorsaak. Die chemiese traagheid van Silicon Carbide Keramiekbedekking laat dit stabiel bly onder uiterste toestande, wat verhoed dat die materiaal deeltjies of onsuiwerhede vrystel, en sodoende die omgewingsuiwerheid van die proses verseker. Dit is veral belangrik vir die vervaardigingstappe wat hoë akkuraatheid en hoë netheid vereis, soos PECVD en iooninplanting.

Optimaliseer termiese bestuur:In hoë-temperatuur halfgeleierverwerking, soos vinnige termiese verwerking (RTP) en oksidasieprosesse, maak die hoë termiese geleidingsvermoë van Silicon Carbide Ceramic Coating eenvormige temperatuurverspreiding binne die toerusting moontlik. Dit help om termiese spanning en materiaalvervorming wat veroorsaak word deur temperatuurskommelings te verminder, en verbeter sodoende die akkuraatheid en konsekwentheid van die vervaardiging van die produk.

Ondersteun komplekse proses-omgewings:In prosesse wat komplekse atmosfeerbeheer vereis, soos ICP-ets- en PSS-etsprosesse, verseker die stabiliteit en oksidasieweerstand van Silicon Carbide Keramiekbedekking dat die toerusting stabiele werkverrigting in langtermyn-werking handhaaf, wat die risiko van materiaaldegradasie of toerustingskade verminder as gevolg van aan omgewingsveranderinge.