Die GevorderdeSiC Cantilever Paddlevir Wafer Processing geskep deur veearts-China bied 'n uitstekende oplossing vir halfgeleier vervaardiging. Hierdie vrykragroeispan is gemaak van SiC (silikonkarbied) materiaal, en sy hoë hardheid en hittebestandheid stel dit in staat om uitstekende werkverrigting in hoë temperature en korrosiewe omgewings te handhaaf. Die ontwerp van die Cantilever Paddle laat toe dat die wafer betroubaar ondersteun word tydens verwerking, wat die risiko van fragmentasie en skade verminder.
SiC Cantilever Paddleis 'n gespesialiseerde komponent wat gebruik word in halfgeleiervervaardigingstoerusting soos oksidasie-oond, diffusie-oond en uitgloeioond, die hoofgebruik is vir wafers laai en aflaai, ondersteun en vervoer wafers tydens hoë-temperatuur prosesse.
Algemene strukturevanSiCcantihefboompaddle: 'n vrykragstruktuur, vas aan die een kant en vry aan die ander kant, het tipies 'n plat en roeiagtige ontwerp.
VET Energy gebruik hoë suiwer herkristalliseerde silikonkarbiedmateriale om die kwaliteit te waarborg.
| Fisiese eienskappe van herkristalliseerde silikonkarbied | |
| Eiendom | Tipiese waarde |
| Werkstemperatuur (°C) | 1600°C (met suurstof), 1700°C (verminderende omgewing) |
| SiC inhoud | > 99,96% |
| Gratis Si-inhoud | < 0,1% |
| Bulkdigtheid | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Skynbare porositeit | < 16% |
| Kompressie sterkte | > 600MPa |
| Koue buigsterkte | 80-90 MPa (20°C) |
| Warm buigsterkte | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termiese uitsetting @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Termiese geleidingsvermoë @1200°C | 23W/m•K |
| Elastiese modulus | 240 GPa |
| Termiese skok weerstand | Uiters goed |
Die voordele van VET Energy se Advanced SiC Cantilever Paddle for Wafer Processing is:
-Hoë temperatuurstabiliteit: bruikbaar in omgewings bo 1600°C;
-Lae termiese uitsettingskoëffisiënt: handhaaf dimensionele stabiliteit, wat die risiko van wafer-vervorming verminder;
-Hoë suiwerheid: laer risiko van metaalbesoedeling;
-Chemiese traagheid: korrosiebestand, geskik vir verskeie gasomgewings;
-Hoë sterkte en hardheid: Slytasiebestand, lang lewensduur;
-Goeie termiese geleidingsvermoë: help met eenvormige wafelverhitting.
-
24v Waterstof Brandstofsel Vet 24v Pemfc Stack 1000...
-
Koolstofblok beste prys vir boogoond
-
Brandstofsel 1000kw Batterye Waterstof Omskakeling ...
-
Ultra-dun geleidende grafietplaat geleidende ...
-
Beste grootmaatprys koolstofgrafietblok wat gebruik word vir ...
-
Pasgemaakte pirolitiese koolstofbedekkingsprodukte